日本 YAMADA(山田光学)YP‑250I 是一款超高亮度卤素表面检查灯,主打40 万 lx 以上高照度、φ60mm 大光斑、冷镜低发热,用于半导体晶圆、玻璃基板等精密表面的微米级缺陷目视检查。


一、核心参数(原厂规格)
光源:ELC 24V/250W 卤素灯(欧司朗)
照度:≥400,000 lx(标准工作距 220mm 处)
光斑:φ60mm(圆形、均匀)
色温:3400K(白光,显色指数 > 95)
工作距离:220mm(标准)
亮度切换:两段式(高 / 低光一键切换)
冷却:强制风冷(螺旋桨风扇 / 管道风机可选)
输入电压:AC 100V/200V 50/60Hz(宽压)
功耗:约 350W
尺寸:120×390×130mm(宽 × 高 × 深)
重量:约 2.7kg
灯泡寿命:约 35 小时(250W)
环境:0–40℃,湿度≤80% RH
二、关键特点
超高照度,缺陷显化强:40 万 lx 以上,可清晰检出0.2μm 级划痕、异物、雾状、抛光不均等微小缺陷。
冷镜技术,低热影响:采用冷反射镜,发热仅为传统铝镜的 1/3,避免晶圆 / 基板热变形。
大光斑,适配 8 英寸晶圆:φ60mm 光斑,覆盖 8 英寸晶圆,大面积均匀照明,检测效率高。
两段亮度,操作高效:高光(初检)/ 低光(复检)一键切换,适配不同检测需求。
稳定耐用,工业级设计:卤素光源稳定、色温漂移小;强制风冷,适合长时间连续运行。
三、典型应用
半导体:硅片(Si)、碳化硅(SiC)、砷化镓(GaAs)晶圆抛光后划痕 / 异物检查。
显示:LCD/OLED 玻璃基板、滤光片表面缺陷检测。
光学:光学镜片、棱镜、镀膜表面划痕 / 麻点检查。