到货！宫崎到货 日本小金井F-SAV100-25W

到货！宫崎到货 日本小金井F-SAV100-25W
到货！宫崎到货 日本小金井F-SAV100-25W

日本小金井（KOGANEI）Pure Process 氟树脂洁净药液阀，F-SAV 系列，半导体 / 液晶设备专用膜片式气控阀，带 Suck-back 回吸功能，防止药液滴漏、挂滴，光刻胶、显影液、蚀刻液管路大量使用。F-SAV100-25W：通径 φ25W（配管规格）

型号拆解

• F-SAV：Suck back 回吸型 2 通气控药液阀（气驱动，不是电磁阀）

• 100：系列代号，阀体尺寸规格

• 25W：接管规格（W = 软管快插接头）

核心结构与材质

• 液路接触材质：PFA/PTFE 氟树脂，耐强酸、强碱、有机溶剂、光刻胶，低析出、无尘洁净

• 密封：氟树脂膜片隔膜结构，无金属接触药液，不会产生金属离子污染晶圆

• 驱动：外部先导气压驱动（洁净压缩空气控制开关）

• 集成回吸机构：关闭阀的瞬间产生负压回抽一小段药液，杜绝喷嘴滴液，涂布 / 喷洗工艺常用

关键规格（F-SAV100）

• 阀体形式：二通气控隔膜阀，内置回吸

• 流体：超纯水、蚀刻液、显影液、剥离液、光阻等各类半导体湿化学药液

• 操作先导气压：0.4～0.5 MPa（洁净 CDA）

• 耐液压力：约 0~0.3MPa（药液侧）

• 工作温度：5～60℃

• 膜片结构，低死体积，药液滞留少，减少结晶

• 洁净等级：半导体 CLEAN 规格，低溶出、低颗粒

同系列区分（F-SAV）

• F-SAV070：小号阀体，小管径

• F-SAV100：中型阀体（你这款）

• F-SAV250：大号阀体大流量后缀尾号：25W、100W、200W代表不同快插软管口径；C/D 代表阀体本体材质选项

典型应用

半导体湿法清洗、光刻涂布、显影、蚀刻设备；LCD / 面板药液供给管路；精密化学液点胶 / 喷淋管路。