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宫崎包邮日本ULVAC爱发科干式真空泵HR600

宫崎包邮日本ULVAC爱发科干式真空泵HR600
通过将泵体均匀加热到高温范围，
该泵能够以气态形式排出 CVD、蚀刻等过程中产生的可升华废气物质。

产品型号：HR-600
厂商性质：经销商
更新时间：2026-01-12
访问量：195

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产品详情

宫崎包邮日本ULVAC爱发科干式真空泵HR600

宫崎包邮日本ULVAC爱发科干式真空泵HR600

特征

可以将化学气相沉积、蚀刻等工艺过程中高温区域浸泡产生的可升华废气以气态形式排出。
“UR 型"设备甚至可以达到比“HR 型"设备更高的温度。
它配备了氦气密封罐式电机，结构密封，非常安全。
采取措施防止发生持续时间不超过 1000 毫秒的瞬时断电。
优异的耐腐蚀性
：主要部件均采用特殊的表面处理工艺，具有较高的表面硬度和优异的耐腐蚀性，可减少泵在排出腐蚀性气体时内部的腐蚀。
通信功能：
可读取泵运行状态和警告/报警历史记录等数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可实现集中监控。

目的

CVD设备
蚀刻设备
灰化装置
ALD、ALH 等。

规格

模型			HR60		HR90		HR300	HR600	HR1200
泵		DRP	HR60		HR90		HR60	HR90	HR90
		MPB	-		-		PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A
zui大泵速	50赫兹	立方米/小时（升/分钟）	62(1030)		112（1860）		359(5,980)	653（10,900）	1,012(16,900)
	60赫兹	立方米/小时（升/分钟）	80(1333)		126(2100)		365(6,080)	701（11,700）	1,051(17,500)
极限压力		宾夕法尼亚州	5				0.67
zui大进气压力（进气压力）			大气压*1
zui大出口压力（排气压力）		宾夕法尼亚州	1 至大气压
进气口（CE规范）			VG50(KF50)		VG80(KF50)		VG80(KF80)		VG100(KF100)
排气口			KF40
大量的		公斤	180		245		275	370	420
电力	三相	交流电（赫兹）	200(50/60), 220(60)
当前值	稳定状态	一个	7.1 （200V时）		11.2 （200V时）		7.8 （200V时）	12.9 （200V时）	15.4 （200V时）
	zui大限度	一个	7.3 （200V时）		11.8 （200V时）		8.1 （200V时）	13.8 （200V时）	18.9 （200V时）
冷却水临时压力		兆帕	0.1~0.3
冷却水进/出口压差		兆帕	>0.1
冷却水流量		升/分钟	>5.0
吹扫气体	一次压力	兆帕	0.1~0.5
	二次压力	兆帕	0.05~0.1
N2吹扫	轴	空间光调制	5
	加斯巴拉	空间光调制	0~45

*1 请勿在入口压力为 200 Pa 或更高时连续操作 HR300、HR600 或 HR1200。

方面

HR60	HR90
HR180	HR300
HR600	HR1200

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