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日本ULVAC爱发科皮拉尼真空计探头WP-01

日本ULVAC爱发科皮拉尼真空计探头WP-01
SP1 传感器单元是一款传感器型皮拉尼真空计，其传感器和电路集成在一起，从而节省了成本和空间。

产品型号：WP--01
厂商性质：经销商
更新时间：2026-02-04
访问量：368

联系电话：0592-6689389

日本ULVAC爱发科皮拉尼真空计探头WP-01

SP1 传感器单元是一款传感器型皮拉尼真空计，其传感器和电路集成在一起，从而节省了成本和空间。

特征

节省成本和空间的换能器类型
灯丝材料为铂金，具有优异的耐腐蚀性。
设定点输出：2 点；探头输出：直流 0 至 5 V（非线性输出）
电源电压输入：DC24V

目的

用于各种制造设备（包括半导体和电子元件）在低真空范围内的过程控制
用于各种工业设备（包括熔炉）低真空范围内的过程控制
适用于具有多个工艺腔室的各种制造设备（例如在线式和单晶圆加工）的低真空区域的工艺控制

类型	传感器单元
模型	SP1
兼容的探头	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
测量精度	±15%（51帕至760帕）
	±30%（10 Pa 至 1000 Pa）
	±50%（0.4 Pa 至 3000 Pa）
工作温度范围	10至40摄氏度
采样时间	50毫秒 5次移动平均处理
测量输出	非线性输出：直流 0-5V（最大 10V）
	（更新时间）50毫秒
	（分辨率）10 mV
设定点 1/2 调节输出	非线性输出：直流 0-5V（最大 10V）
控制输出电压	开放式集线器，负逻辑
	错误信号
	设定点 1/2
LED显示屏	功率、误差、设定点 1/2
电源电压	DC24V±2V，90mA（最大值）
输入/输出连接器	D-sub-15P（M2.6 螺丝）
体重	190克（不含探针）
配件	输入/输出连接器 1 套
配件	1份快速入门手册

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