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EBARA荏原

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宫崎供应日本EBARA荏原干式真空泵EST200WN

宫崎供应日本EBARA荏原干式真空泵EST200WN
EST 型采用螺杆型转子，可应对 CVD 等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。

产品型号：EST-200WN
厂商性质：经销商
更新时间：2026-02-05
访问量：227

联系电话：0592-6689389

宫崎供应日本EBARA荏原干式真空泵EST200WN

EST 型采用螺杆型转子，可应对 CVD 等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。

型号	EST10N	EST25N	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN
zui大抽气速率（L/min）	1,000	2,500	10,000	20,000	30,000	50,000

日本荏原（EBARA）EV-M20N干式真空泵 —— 这是 EV-M 高负荷系列的紧凑型耐蚀型号，专为半导体 / 面板等有大量反应副产物、腐蚀性气体的严苛制程设计，无油、耐高温、低功耗且 50/60Hz 性能一致EBARA Tech。
核心技术参数
参数数值抽速（50/60Hz 一致）1800 L/min极限压力5 Pa进气口 / 出气口NW40 / NW40极限真空功耗1.2 kW；装机容量 3.3 kVA冷却水流量 3–8 L/min，最高 30℃氮气吹扫流量26–31 Pa·m³/s尺寸（W×D×H）370 × 770 × 450 mm重量170 kg电源三相多电压可选（200V/400V/460V 50/60Hz）认证SEMI S2、CE、NRTL

·可满足副产物生成的工艺(泵内气体可保持高温);

·抽气速率高、流量大;

搭载转速自动控制功能

(自适应气体流量大小);

可应对腐蚀性气体

(标配耐腐蚀性材料);

搭载高性能通信功能;0

优良的控制管理方式

(数据保存功能、警报履历备份)。

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