日本EBARA荏原废气处理设备G-WS 1000
G-WS型是一种湿式废气处理设备，能以低成本安装并运行。此型号不需要燃料，并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累的十多年独特副产物对策，实现了较
长的维护周期。

日本EBARA荏原废气处理设备G-WS  1000

日本EBARA荏原废气处理设备G-WS  1000

G-WS型是一种湿式废气处理设备，能以低成本安装并运行。此型号不需要燃料，并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累的十多年独特副产物对策，实现了较

长的维护周期。通过延长正常运行的时间，保证了运行的稳定，并降低维护成本和

人力成本。此外，维护窗口开设在设备正面，即使在Sub-Fab有限的空间中也可以

进行灵活的布局。

特点

无需燃料，运行成本低;

通过多种副产物对策实现较长

节省维修空间的设计;

处理对象气体:NH3、DCS、

翻译中

可在常温下处理的水溶性气体。

EBARA 荏原 G-WS1000 是面向半导体制程的点用湿式洗涤塔，专为水溶性腐蚀性工艺废气设计，zui大处理风量1000 L/min，适合 Epi、CVD、刻蚀等工序的末端治理荏原製作所。

核心规格（原厂标准）

表格

参数项数值备注

zui大处理风量1000 L/min核心额定指标荏原製作所

进气接口4 个多工艺线接入能力荏原製作所

电源3 相 AC200V，50/60Hz，1.8–3.5kW功率随配置浮动

外形尺寸W914×D736×H1727 mm紧凑设计，适配洁净室

公用工程工艺水：1–10 L/min；氮气：15–50 L/min稳定运行必需

排气接口处理气：1.5 m³/min；机箱排气：1.3 m³/min需配套排风系统

适用与不适用气体

适用（水溶性 / 腐蚀性）：HCl、NH3、WF6、TiCl4、BCl3、ClF3、SiF4、HF、HBr 等；Cl2、F2 需特殊确认。

不适用（湿式无法处理）：H2、SiH4、PH3、CH4、PFCs（CF4、SF6、NF3）等，需搭配燃烧式或干式装置。

核心特点与设计

单面前维护：仅需正面操作空间，适配 Sub-Fab 紧凑布局。

产物控制技术：基于燃烧式装置经验，减少盐类堵塞，提升运行稳定性。

多接口集成：4 个进气口，满足多台工艺设备集中处理需求。