EBARA大流量废气处理设备G5-600-P1~P6
G5型得益于荏原独特的废气处理技术，有着处理性能优秀、安全性高和使用寿命长等优点。分为最大气体流量 600L/min和1200L/min两种类型。适用于半导体制造过程中如TEOS等含有Si源的可燃气体的大流量废气处理

EBARA大流量废气处理设备G5-600-P1~P6

EBARA大流量废气处理设备G5-600-P1~P6

G5型得益于荏原独特的废气处理技术，有着处理性能优秀、安全性高和使用寿命长等优点。分为最大气体流量 600L/min和1200L/min两种类型。适用于半导体制造过程中如TEOS等含有Si源的可燃气体的大流量废气处理.

特点

比普通G5型更高的流量规格;

进气口从4个增加到6个;

标配副产物清除功能(燃烧器部分)，可用性更高;

标配自动除粉功能(储气罐部分)，大幅延长维护周期;根据处理气体的类型和量按需运行(能耗自动变化)，可降低运行成本。

型

一、型号含义

• G5：系列代号（燃烧 + 湿式处理）

• 600：最大进气量 600 L/min

• A1~A6：标准配置细分（A 系列为非防爆）

• P1~P6：同规格防爆 / 特殊配置版本

  
  

• A1~A6 配置差异

• A1：基础标准型（城市煤气）

• A2：基础标准型（丙烷气）

• A3：增强耐腐型（特殊材质，适配强酸性废气）

• A4：高配型（自动清洗 + 远程监控）

• A5：超大流量优化型（600 L/min 满负荷稳定运行）

  A6：定制集成型（含预处理 / 后处理模块）

  典型应用场景

• 半导体蚀刻、CVD、扩散工艺集中排气

• 液晶 / OLED 面板制程大流量废气

• 太阳能电池、LED 生产 PFCs 与酸性气体处理

• 多机台共用的中央废气处理系统