NPM日脉 线性磁轴电机俗称磁轴电机，由稀土永磁轴（定子）+ 空心线圈动子两部分构成，非接触驱动、无齿槽、零背隙，是精密洁净设备专用直线执行元件，可原生配套自家 Motionnet 省配线总线实现多轴分布式省配线控制。

一、厂商基础背景（NPM日脉 线性磁轴电机）

二、核心结构与驱动原理（NPM日脉 线性磁轴电机）

1. 定子：永磁磁轴

• 内部填充分段钕铁硼稀土永磁，无缝密排磁场，外部不锈钢密封套管封装；

• 轴径规格：φ4/6/8/12/16/20/25/35/50mm，覆盖微型至重载；

• 最大定制行程 4.6m，单根磁轴可固定不动，搭配多组独立动子同步运动；

• 磁路磁场强度为普通平板直线电机 2 倍，360° 磁通 100% 利用，无磁浪费。

2. 动子：空心线圈滑块（Forcer）

• 纯空心 U/V/W 三相圆柱线圈，无铁芯，内置霍尔传感器实现无刷换相；

• 动子与磁轴环形气隙 0.5~5mm，气隙变化不影响输出推力，安装容错率较高；

• 非接触电磁驱动，动子与磁轴无摩擦、无磨损、零背隙、消除齿槽力。

3. 驱动原理

三、八大核心技术优势（行业卖点）

1. 零齿槽效应，运动平滑无铁芯结构消除齿槽力，100mm/s 低速下速度波动仅 ±0.006%；微米级低速进给无抖动，适配光学扫描、晶圆微对位场景。
2. 洁净低发尘，适配真空 / 无尘车间动子与磁轴全程非接触，无金属摩擦碎屑；不锈钢密封磁轴，可做真空适配版本，满足半导体 Class1 洁净室标准，无油污、低污染。
3. 大安装气隙，装配容错高0.5~5mm 宽气隙，导轨安装轻微平行度偏差不会造成推力衰减、卡滞，设备装配调试难度远低于平板直线电机。
4. 单磁轴多动子，多轴并行省空间一根永磁轴可安装 2 个及以上独立动子，每个动子单独驱动器独立控制，可同步 / 异步往复运动，大幅缩减设备内部空间，降低机械加工成本。
5. 超高动态性能

• 最大加速度 20G，最高运行速度 10m/s；

• 推力范围全覆盖：微型 φ4 系列额定推力 0.29N，φ50 重载系列峰值推力 2340N；

• 动子轻量化，推力惯量比优秀，高频往复、高速上下料节拍优势显著。

6. 超高重复定位精度配套光栅全闭环反馈，重复定位精度可达±0.5~1μm，最小进给分辨率 0.1μm，满足探针台、固晶机纳米级微调需求。
7. 低噪音、低热、长免维护机械摩擦仅外部线性导轨，电机本体无磨损；运行噪音＜50dB，连续工作发热低，整机使用寿命可达数年免拆解维护。
8. 原生配套 Motionnet 省配线总线（核心优势）可搭配 NPM 自研 Motionnet 总线驱动器，单根 CAT5 双绞线串联最多 64 轴磁轴电机驱动模块；从站芯片内置硬件运动插补，无需上位机运算，整机线束减少 70% 以上，较好解决多轴设备配线繁杂问题。

四、完整产品三大系列

1. S 标准裸机系列

• S040/060/080：φ4~8mm 超微型，推力 0.29~12N，行程 20~250mm；3C 摄像头调焦、光学显微镜载台；

• S120/160/200：φ12~20mm 轻中载，推力 12~90N，行程最长 1000mm；点胶、FPC 贴合、芯片分选；

• S250/350/500：φ25~50mm 重载，峰值推力最高 2340N，行程 1550mm；晶圆真空搬运、重型检测载台。

2. SLP 一体化直线滑台