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您的位置：首页 - 产品中心 - ULVAC爱发科 - 干式真空泵 - EV-X型号低功耗的风冷干式真空泵

低功耗的风冷干式真空泵

日本EBARA/荏原低功耗的风冷干式真空泵体积小巧、节能，且一台设备可覆盖多种工艺
干式真空泵是一种不使用油或液体密封的非接触式真空泵。它们实现了清洁的真空，没有回流或水和油的扩散。此外，无需定期维护，如补充水或更换水或油，操作非常简便。它是半导体制造工艺和FPD/LED/太阳能电池制造过程中的泵，这些工艺强调清洁性。近年来其应用范围扩大，因为它能够轻松、干净地排出质谱仪和电子显微镜等分析仪的气

产品型号：EV-X型号
厂商性质：经销商
更新时间：2026-06-13
访问量：128

联系电话：0592-6689389

EBARA在干式真空泵方面的优势

节能且紧凑的设计。令人安心的*支持和丰富的产品线

Ebara干式真空泵以节能和小巧著称，广泛应用于多个领域。独特优化的转子设计提升了压缩效率，实现了低功耗。由于其紧凑轻便的设计，能够在有限空间内安装，且易于搬运。我们已在*出货超过20万台*，活跃于多个领域，主要集中在半导体行业，对性能和可靠性的要求非常严格。

此外，我们在*拥有50多个维修点，提供可靠的*支持。您可以选择我们丰富产品线中最合适的车型，从行业最高标准的紧凑轻量车型，到氢气排气车型，以及兼容产生反应性副产品的高负载兼容车型。

特色与优势

该干式真空泵适用于中等工艺，配备Ebara独特的节能技术，采用优化自动化工厂制造的模块设计，实现进一步的小型化和节能。
凭借广泛的温度控制能力，它扩展了适用的工艺。同一模型可以涵盖多个过程;因此，备用机器库存可以优化，维护和培训可以减少，流程未来也能灵活扩展。此外，通过对每个工艺进行温控，工艺电阻也得以提升，并通过延长零件更换周期来降低TCoO。
适用的应用包括各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延等。

日本EBARA/荏原低功耗的风冷干式真空泵 EV-X型号

日本EBARA/荏原低功耗的风冷干式真空泵

特色与优势

无需冷却水，只需电力源。可配合单相100伏至240伏电源使用。

适合中型工艺

适合高温控制

节能

减少占地面积

耐腐蚀材料

提升耐腐蚀性的选项

不同频率（50 Hz/60 Hz）性能相同

无油

CE认证/半S2/NRTL

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EBARA在干式真空泵方面的优势

节能且紧凑的设计。令人安心的*支持和丰富的产品线

特色与优势

日本EBARA/荏原低功耗的风冷干式真空泵 EV-X型号

日本EBARA/荏原低功耗的风冷干式真空泵

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