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低功耗干式真空泵

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵体积小巧、节能，且一台设备可覆盖多种工艺
该干式真空泵适用于中等工艺，配备Ebara独特的节能技术，采用优化自动化工厂制造的模块设计，实现进一步的小型化和节能。
凭借广泛的温度控制能力，它扩展了适用的工艺。同一模型可以涵盖多个过程;因此，备用机器库存可以优化，维护和培训可以减少，流程未来也能灵活扩展。此外，通过对每个工艺进行温控，工艺电阻也得以提升

  • 产品型号：EV-S20P/N
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2026-06-15
  • 访  问  量：160
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联系电话：0592-6689389

产品详情

EBARA在干式真空泵方面的优势

节能且紧凑的设计。令人安心的*支持和丰富的产品线

Ebara干式真空泵以节能和小巧著称，广泛应用于多个领域。独特优化的转子设计提升了压缩效率，实现了低功耗。由于其紧凑轻便的设计，能够在有限空间内安装，且易于搬运。我们已在*出货超过20万台*，活跃于多个领域，主要集中在半导体行业，对性能和可靠性的要求非常严格。

此外，我们在*拥有50多个维修点，提供可靠的*支持。您可以选择我们丰富产品线中最合适的车型，从行业最高标准的紧凑轻量车型，到氢气排气车型，以及兼容产生反应性副产品的高负载兼容车型。

特色与优势

  • 该干式真空泵适用于中等工艺，配备Ebara独特的节能技术，采用优化自动化工厂制造的模块设计，实现进一步的小型化和节能。

  • 凭借广泛的温度控制能力，它扩展了适用的工艺。同一模型可以涵盖多个过程;因此，备用机器库存可以优化，维护和培训可以减少，流程未来也能灵活扩展。此外，通过对每个工艺进行温控，工艺电阻也得以提升，并通过延长零件更换周期来降低TCoO。

  • 适用的应用包括各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延等。

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵
日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵
EV-S 型号

干式真空泵，功耗低，占地面积小

  • 低功耗

  • 紧凑轻便

  • 耐腐蚀材料选项

  • N2 清除模型选项可选

  • 无论频率如何（50/60 Hz）泵送性能相同

  • 无油

  • 可获得CE认证/半级S2/NRTL认证


特色与优势

  • 凭借EBARA独特的转子设计和怠速功能，Model EV-S系列实现了能源效率和小巧的占地面积。有助于降低运行成本。凭借增强的耐腐蚀选项，该型号涵盖从轻载工艺如负载锁和SEM到腐蚀工艺的广泛应用。

  • 规格

  • 类型单位EV-S20EV-S20P/NEV-S30EV-S30PEV-S50EV-S50P/NEV-S100EV-S100P/NEV-S200EV-S200P/N
    冷却水流量L/min1.5~3.01.5~3.01.5~3.01.5~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.0
    温度°C最多30人最多30人最多30人最多30人最多30人最多30人最多30人最多30人最多30人最多30人
    电源功率容量kVA3.23.23.63.64.84.86.46.46.86.8
    抽水速度L/min16701670330033005000500010000100002000020000
    压力
    		350.510.50.50.50.50.50.5
    连接入海口
    		NW50NW50NW50NW50NW50NW50NW80NW80NW100NW100
    出口
    		NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW40NW40
    极限压力下的近似功率千瓦0.40.40.40.40.550.550.650.650.750.75
    N2流量Pa•m3/s-17~20（2.4）-17~20（2.4）
    		17~20（2.4）
    		17~20（2.4）
    		17~20（2.4）
    电源相位/电压/频率。200V型号
    		三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz
    400V型号
    		三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz--三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz
    重量KG60609090100100120120170170

  • *规格仅为示例。具体情况可能因车型而异

  • *请联系我们获取详情。



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