日本EBARA/荏原功耗低干式真空泵体积小巧、节能，且一台设备可覆盖多种工艺
该干式真空泵适用于中等工艺，配备Ebara独特的节能技术，采用优化自动化工厂制造的模块设计，实现进一步的小型化和节能。
凭借广泛的温度控制能力，它扩展了适用的工艺。同一模型可以涵盖多个过程;因此，备用机器库存可以优化，维护和培训可以减少，流程未来也能灵活扩展。此外，通过对每个工艺进行温控，工艺电阻也得以提升

日本EBARA/荏原功耗低干式真空泵

日本EBARA/荏原功耗低干式真空泵

EV-M 型号

干式真空泵，功耗低，适合高负载应用的性能

特色与优势

• 凭借EBARA独特的耐热技术，Model EV-M系列专为高负载应用设计，在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生大量反应副产物。凭借的功耗性能，Model EV-M系列在抗高负载应用与能效间取得了平衡。标准采用坚固的防腐蚀材料。还有一款大容量型号，泵送速率为110,000升/分钟。丰富的产品线满足各种高负载应用，以匹配工艺条件

• 规格

• 
  

• 类型		单位	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M505SF	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
  冷却水	流量	L/min	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
  	温度	°C	最多30人	最多30人	最多30人	最多30人	最多30人	最多30人	最多30人	最多30人	最多30人
  电源	功率容量	kVA	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
  抽水速度		L/min	1800	10000	20000	30000	50000	50000	80000	80000	110000
  压力			5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
  连接	入海口		NW40	ISO100	ISO100	ISO100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200
  	出口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
  极限压力下的近似功率		千瓦	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
  N2	流量	Pa•m3/s	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
  电源相位/电压/频率。	200V型号		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
  	400V型号		三相/380-400伏/50赫兹 三相/380-440伏/60赫兹	三相/380-400伏/50赫兹 三相/380-440伏/60赫兹	三相/380-400伏/50赫兹 三相/380-440伏/60赫兹	三相/380-400伏/50赫兹 三相/380-440伏/60赫兹	三相/380-400伏/50赫兹 三相/380-440伏/60赫兹	-	三相/380-400伏/50赫兹 三相/380-440伏/60赫兹	三相/380-400伏/50赫兹 三相/380-440伏/60赫兹	三相/380-400伏/50赫兹 三相/380-440伏/60赫兹
  重量		KG	170	320	360	400	500	580	740	820	870