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通用型机械助力泵

ULVAC/日本爱发科通用型机械助力泵,“型号:PRC"是一种机械助力泵,主要设计用于半导体和液晶液晶制造工艺,这些工艺要求特别清洁。
采用罐式电机,轴封不会发生漏油。 你也可以选择一种大气压驱动类型作为选项。

  • 产品型号:PRC-012A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-17
  • 访  问  量:137
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产品详情

                               ULVAC/日本爱发科通用型机械助力泵,型号:PRC-012A

                               ULVAC/日本爱发科通用型机械助力泵,型号:PRC-012A

特色

  • 由于无油
    套管腔内无润滑油,即使对水蒸气和溶剂等蒸汽也能保持稳定性能。

  • 罐装电机的采用
    :通过采用罐装电机设计,消除了大气/真空中的机械密封。 你可以在干净的环境中使用它,不用担心漏油。

  • 表面处理
    具有优异耐腐蚀性:主要部件经过阳极氧化处理,表面硬度高且耐腐蚀性优异,抑制泵内划痕和腐蚀。 还提供可选的表面处理。

  • 由于与大气压驱动(可选:变频器)
    粗泵同时激活有助于缩短排气时间,因此相较标准型号,排气时间可以缩短。

  • 针对特殊应用,我们提供标准选装
    型号以及特殊用途型号。

使用示例类型(类别)兼容型号表面处理石油
通过空气和惰性气体
排气表面处理提升对异物的抵抗强度
标准PRC-003A、PRC-006A、
PRC-012A、PRC-018A
〇*1R-42
矿物油
当你想减少空气或
惰性气体排气吸收所达到的压力时,排气水分吸附
XPRC-003A-X,PRC-006A-X,PRC-012A-X,PRC-018A-X
✖R-42
矿物油
针对腐蚀性、易燃性和氧化性气体的油品劣化对
策,表面处理以增强对外来物质的强度。
FPRC-003A-F,PRC-006A-F,PRC-012A-F,PRC-018A-F
〇J25F *2
氟油

*1 对于表面处理的表面,水分吸收产生的气体释放可能影响排气时间。
*2 组装检查将使用氟油进行,但不包括在内。 如有需要,将另行安排。


目的

  • 气相沉积、溅射、离子板

  • 真空干燥、冻干、真空脱气

  • 分析仪器、泄漏测试设备

  • 气体排量、填充、真空绝缘

  • 热处理炉,熔炉

  • 其他各种真空装置

规格

型号*1PRC-003APRC-006APRC-012APRC-018A
最大排气速度50Hz280米3/h
(4670 L/min)
500米3/h
(8330 L/min)
1000米3/h
(16700 L/min)
1500米3 /h
(25000 L/min)
60Hz330米3/h
(5500 L/min)
600米3/h
(10000 L/min)
1200米3/h
(20000 L/min)
1800米3/h
(30000 L/min)
最大吸力压力50Hz1.2 x 103 爸1.3 x 103 爸1.2 x 103 爸
60Hz9.3 x 102 爸1.1 x 103 爸9.3 x 102 爸
最大允许压力差50Hz4.0 x 103 爸7.3 x 103 爸4.3 x 103 爸
60Hz3.3 x 103 爸6.0 x 103 爸3.2 x 103 爸
压力达到 *24.0 x 10-1 爸6.7 x 10-1 爸
可操作压力~1.0 x 105 Pa(大气压力驱动)
电机 *3形式烛光型三相感应电机
高效级—
付出努力0.75千瓦(双极)2.2千瓦(双极型)3.7千瓦(双极)5.5千瓦(双极)
电压
(200伏级电动机)
50Hz200 伏
60Hz200/220 V
所用机油 *4ULVOIL R-42/SMR-100
所需油量0.7升1.5升1.9升
冷却方法水冷
冷却水主侧压力0.3 MPA
进出压力差0.01 MPa及以上
冷却水体积2升/分钟3升/分钟
冷却水温度 *55 ~ 30 °C
进气口径 JIS-B-2290相当于VG80相当于VG100相当于VG150
排气孔 JIS-B-2290相当于VF80相当于VF100
尺寸:宽×深×高 *6296×575×260毫米356×619×320毫米406×759×340毫米406×989×340毫米
质量51公斤86公斤118公斤150公斤
标准辅助泵VD60CVD90C
VS2401
VS2401
标准配件一本说明书,一箱机油

注:本规范表采用国际单位制(SI)单位制。 转换为非国际单位制单位制如下。
4.0 x 10
-1 Pa = 3.0 x 10-3 去吧

*1 标准产品配有表面处理(阳极氧化涂层)。 你也可以选择不做表面处理。
*2 使用Pirani真空计测量(辅助泵,使用标准油)。
*3 不能用于耐压防爆或低压防爆防护。
*4 氟油(J25F)可作为选项选择。
*5 请在无冷凝水的环境中使用。
*6 关于其他维度,请查看我们网站上发布的CAD数据。

排气速度曲线

PRC-003A/006A通用型机械助力泵PRC-012A/018A通用型机械助力泵


尺寸图

通用型机械助力泵

PRC-003APRC-006APRC-012APRC-018A
W296356406406
D575619759989
H260320340340




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