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通用型斯帕特昂泵

ULVAC/日本爱发科通用型斯帕特昂泵,“型号:PST该泵利用溅射激活钛的激化剂效应,提升超高真空区的排气性能。
通过优化新元件和磁场,较高真空区的排气性能得以提升。

  • 产品型号:PST-050CU
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-18
  • 访  问  量:174
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产品详情

                               ULVAC/日本爱发科通用型斯帕特昂泵,型号:PST-050CU

                               ULVAC/日本爱发科通用型斯帕特昂泵,型号:PST-050CU

斯帕特昂泵利用电场和磁场电离气体分子。 电离分子被电场加速并与固体靶面碰撞。 这种碰撞会将分子嵌入表面,形成真空。 该工艺在去除惰性和反应性气体方面尤其有效。
斯帕特昂泵可实现低于10^-11托的超高真空值,非常适合精密实验和制造工艺。由于无机械活动部件,使用寿命长且维护需求极少,且通过省油,提供清洁、无污染的真空环境。 此外,与其他真空泵相比,它具有更低的功耗和更高的能效优势。

特色

  • 支持超高真空环境。 配备ISO标准测试圆顶,可安装10个-9展示了抵达Pa平台的压力。

  • 稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。 (我们的比较)

  • 在超高真空区实现高排气速度。

  • 允许在短时间内将气体排放至超高真空范围。

  • 在超高真空区具有优异的启动特性。 (放电持续到超高真空范围)

目的

  • 加速器

  • 电子显微镜

  • 电子线条绘制装置

  • 抗振动分析仪器

  • 超高真空环境的使用等。

规格

模型PST-030CUPST-030AUPST-050CUPST-050AUPST-100CXPST-100AX
废气靶气活性气体稀有气体活性气体稀有气体活性气体稀有气体
再生排气速度*0.03米3/s
N2 测量气体时
0.013米3/s
测量AR时
0.045米3/s
N2 测量气体时
0.016米3/s
测量AR时
0.10米3/s
N2 测量气体时
0.05米3/s
测量AR时
到达压力10-9爸
操作压力推荐价值<8.0×10-3爸<5.0 x 10-3爸
音量0.67 乘以 10-3m31.3x10-3m33.3x10-3m3
泵的元件数量CU型单元×1集AU型单元×1集CU型单元×1集AU型单元×1集CX型电池×一组AX型单元×一组
连接法兰类型ICF070ICF114ICF152
施加电压DC+7.5kV
加热加热器没有设置单相交流200V,300W单相交流200V,320W
标准爆发
温度
250°C
质量9.5公斤12公斤37公斤
外部尺寸:×D×H103×183×187毫米153×204×241毫米155×336×340毫米
使用环境温度范围5~40°C
湿度范围85%或更低(无冷凝水)
泵
固定螺栓孔尺寸
4个位置 - M5,
深度10毫米
4个位置 - M8
深度 6毫米
推荐控制器GST-07L-B

*使用 GST-07L 控制器时


模型PST-110AUPST-200CXIIPST-200AXIIPST-400CXIIPST-400AXII
废气靶气活性气体活性气体稀有气体活性气体稀有气体
再生排气速度*0.11米3/s
N2 测量气体时
0.2米3/s
N2 测量气体时
0.02米3/s
测量AR时
0.36米3/s
N2 测量气体时
0.19米3/s
测量AR时
到达压力10-9爸10-10爸
操作压力推荐价值<4.5x10-3爸<3.8x10-3爸<3.0x10-3爸
音量6.5x10-3m311x10-3m314x10-3m3
泵的元件数量AU型单元 x2CX型电池×两组AX型电池×两组CX型电池×4组AX型×4种类型
连接法兰类型ICF152ICF203
施加电压DC+7.5kV
加热加热器没有设置单相交流200V,600W单相交流电200V,800W
标准爆发温度250°C
质量36.5公斤65公斤124公斤
外部尺寸:×D×H171×387×293毫米296×361×376毫米296×544×376毫米
使用环境温度范围5~40°C
湿度范围85%或更低(无冷凝水)
泵固定螺栓孔尺寸4个位置 - M6,15
毫米深
4个地点 - M8
深度 15毫米
6个地点 - M8
深度 15毫米
推荐控制器GST-07L-B

*使用 GST-07L 控制器时



“型号:PST控制器

模型GST-07L-B
输入规范输入电压和电流AC100~115V±10% · 50/60Hz~3.0A
AC200~240V±10% · 50/60Hz~1.5A
漏电流低于6mA
输入电压切换方法手动(通过内部电源DIP开关操作)
输出规范额定电压直流+7.5kV(约1.0~7.5kV,体积可变)
额定电流DC30mA或以下
输出极性正极性
输出特性恒定电压特性
代表性数字显示(7段LED显示屏)
展示内容输出电流显示范围1μA~30mA(mA和μA的自动切换,两个范围)
输出电压显示范围DC0.0~7.5kV
压力显示Pa 表示1×10-8~1×10-2
MBAR 表示1×10-10~1×10-4
压力设定点2分
保护功能错误显示 / 配备多种保护功能
显示屏亮起时的高压(HV)输出切断(0~8)
停电后的恢复当高压开关开启时,停电后可以实现自动恢复。
外部控制功能配备多种输入功能(带远程连接器)和RS232C通信控制
MONITOR 端子输出信号输出与7段面板显示成比例的信号,每个范围为DC0~10VF.S。
允许负载阻抗100kΩ或更高
远程/本地通过前面板开关切换
冷却方法强制空气冷却方法
质量主体4.0公斤
外部尺寸W×H×D200 x 99 x 370mm(不包括机架安装支架)
使用环境温度范围0~40°C
湿度范围85%或更低(无冷凝水)
兼容规范CE,cTUVus



排气速度曲线

  • PST-030CU_AU

通用型斯帕特昂泵
  • PST-050CU_AU通用型斯帕特昂泵

  • PST-100CX_AX

通用型斯帕特昂泵
  • PST-110AU通用型斯帕特昂泵

  • PST-200CXII_AXII通用型斯帕特昂泵

  • PST-400CXII_AXII通用型斯帕特昂泵




尺寸图

  • PST-030CU_AU通用型斯帕特昂泵

  • PST-050CU_AU通用型斯帕特昂泵

  • PST-100CX_AX通用型斯帕特昂泵

  • PST-110AU通用型斯帕特昂泵

  • PST-200CXII_AXII通用型斯帕特昂泵

  • PST-400CXII_AXII通用型斯帕特昂泵








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