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通用型油扩散真空泵

ULVAC/日本爱发科通用型油扩散真空泵,“型号:PFL型油扩散泵是凭借多年的研究和丰富的制造经验设计和制造完成的。 我们提供四种型号,范围从22B到52B不等。 它被广泛应用于许多大型真空设备,如真空炉和高真空生产设备,其实用性能备受推崇。

  • 产品型号:PFL-36
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-18
  • 访  问  量:124
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产品详情

                              ULVAC/日本爱发科通用型油扩散真空泵,型号:PFL-36

                              ULVAC/日本爱发科通用型油扩散真空泵,型号:PFL-36

油扩散真空泵通过蒸发加热的油产生油蒸气。 这种油蒸气以高速通过喷嘴注入,并与气体分子碰撞。 碰撞的气体分子沿着油蒸气流动向排气出口移动,形成真空。 该工艺在需要高真空的应用中尤为有效。
油扩散真空泵的真空值可达10^-7托至10^-9托的高真空值,适用于多种工业应用。与其他高真空泵相比,它们的初始成本更低,且更经济地引入。此外,其结构简单,长期性能可靠且耐用,适合半导体制造、金属加工, 它被广泛应用于科研和开发等多个领域。

特色

  • 与同级别其他泵相比,它的排气速度更高。

  • 该泵产生的油蒸汽回流极少。

  • 这是一种经济型泵,耗电和油耗低,效率高且经济。

  • 该泵具有较好的维护性,使得更换和维修加热器变得轻松。

  • 我们的焊接技术极为优良,通过氦气泄漏检测器进行较好的泄漏检测,无论是机械还是真空方面,我们的可靠性都非常高。

规格

模型PFL-22PFL-22TMPFL-36PFL-52
排气速度10,000升/秒10,000升/秒34,000升/秒70,000升/秒
压力达到 *13.0×10-4爸
临界背压16 Pa6.7 帕16 Pa
工作开始时间40分钟60分钟60分钟
操作油ULVOIL D-11,SX
油量5升13 L27 L
水温19~25°C
冷却水进水
口(尺寸×系统数量)
回复1/2×2回复1/2×2回复1/2×2回复1/2×4
回复3/8×2
冷却水体积12升/分15升/分钟38升/分50升/分
电压规格200伏 / 3φ
所需电力8千瓦10千瓦起始功率为22千瓦启动时功率为45千瓦
稳定容量:11千瓦稳态负载:30千瓦
加热器类型电加热器电加热器电加热器电加热器
推荐辅助泵 *2PMB-040C+PKS-070
(PMB1200D+PKS-030)
PMB-040C+PKS-070
(PMB1200D+PKS-070)(
PMB2400D+PKS-070)
PMB-060C + PKS-070 × 2 台
PMB2400D + PKS-070
外径尺寸 *3A480毫米480毫米725毫米1000毫米
B630毫米630毫米1,022毫米2000毫米
H1,330毫米1,330毫米1,732毫米2,845毫米
进气口VG550VG550VG900相当于VG 52英寸
排气口VG150VG200VG250VG350
质量290公斤650公斤1400公斤
油位计视口视口视口
恒温器选项存在存在存在
恒温器设定温度180°C110°C110°C

水冷挡板(用于PFL)

类型BW-22BW-36BW-52
导电14000升/秒54000升/秒75000升/秒
外径尺寸 *3Dφ680毫米φ1065毫米φ1480毫米
T101毫米113毫米165毫米
t26毫米28毫米35毫米
冷却液收集(尺寸)答复 3/8答复 3/8复位 1/2
冷却水体积3升/分钟5升/分钟5升/分钟
重量28公斤66公斤200公斤

*1 达到的压力基于电离真空计,冷却水温为20°C。
*2 辅助泵的选择基于此处扩散泵的最大流量,但一般而言,考虑到粗取油时间,适合使用比此处展示的更大的机械助力泵和油旋转真空泵。
*3 其他维度请查看我们网站上发布的CAD数据。

排气速度曲线

  • PFL-22


通用型油扩散真空泵
  • PFL-36,PFL-52


通用型油扩散真空泵

尺寸图

通用型油扩散真空泵



PFL-22,PFL-22TMPFL-36PFL52
A480毫米725毫米1000毫米
B630毫米1022毫米2000毫米
H1330毫米1732毫米2845毫米




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