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热阴极电离真空计

日本ULVAC爱发科热阴极电离真空计 型号:ST200-R,这是换能器型“G-TRAN多离子计"的新型型号,可连接不同测量范围的仪器。 该产品为B-A型电离真空计,能够测量超高真空。 在继承了传统宽范围压力测量和低运行成本的理念的同时,它做出了更为用户友好的改进。

  • 产品型号:ST200-R
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-18
  • 访  问  量:173
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产品详情

                                      日本ULVAC爱发科热阴极电离真空计型号:ST200-R

                                                        日本ULVAC爱发科热阴极电离真空计型号:ST200-R

冷阴极电离真空计是一种利用气体电离现象的真空计。

特色

  • 提升可用性:允许设置点并通过电脑/智能手机连接查询状态

  • 耗材寿命通知功能:允许您通过耗材功率监测提前通知耗材寿命。

  • 可以连接不同测量范围的传感器:采用多离子计允许根据应用选择仪表。

  • 紧凑型:与之前车型相比,体积显著缩小(控制器体积减少56%)

  • 产品线扩展:除了模拟输出规范(ST200-A)和串行通信规范(ST200-R)外,新增了EtherCAT规范(ST200-E)

  • 三极管金属电离真空计:即使在恶劣环境下,真空计也能实现长寿命

  • 广泛的压力测量:从大气压到高真空范围(1×10+5~1×10-5当连接可选单元 SWU10-R 时,可以进行 Pa) 测量

  • 准确的大气压测量:当连接可选单元SAU时,可以检查大气压是否打开了腔室。

目的

  • 用于检测OLED和触摸面板等制造设备所达到的压力,以及工艺管理。

  • 用于检测各种工业真空设备(如真空炉)所达到的压力

  • 测量是在含有大量碳氢化合物的环境中进行的(油基)。

  • 在真空零件加工过程中切割油或清洗液残留的环境中进行测量

  • 对于旨在降低真空计更换频率的真空设备

* 如果您希望在腐蚀性气体(卤素气体)环境中使用,请咨询我们。

规格

类型ST200-AST200-RST200-E
规格标准规格串行通信规范EtherCAT 规格
自适应多离子仪表传感器SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)
可连接传感器多离子压力表传感器:一块
Pirani 仪器 SWU10-R:一块(可选) 大气
压力传感器 SAU:一块(可选)
重复性(N2)ST200 独立模式:±2%
采样时间60毫秒,5个移动平均处理周期
测量输出输出电压直流 0~10V LOG输出 0.75V / 一位数
压力转换公式:V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新时间60毫秒
控制输入信号FIL开关,脱气开关,使用开集电极输入,负向逻辑--
控制输出信号传感器误差,设定点1/2/3,发射量变化,
灯丝功率监测
额定值:24V MAX,50mAMAX,饱和电压1V
--
串行通信规范-RS232C/RS-485以太猫
LED显示屏电源/错误:电源,错误指示灯(闪烁状态因模式而异)
发射电流2mA(1×10)-2Pa或更小),10μA(1×10)-2Pa及以上)
德加电子轰炸系统,发射电流2mA,栅极电压约330V
传感器耐受电压2×10+5Pa(绝对压力)* 法兰和夹具的耐压性必须单独考虑
传感器体积17厘米3(SWT-16),19厘米3(SWT-25)
工作温度范围10~50°C
工作湿度范围15~80%(前提是无冷凝)
储存温度-20~65°C(未通电时无冷凝)
知识产权保护等级IP30
电源电压DC20~28V(波纹,噪声低于1%)
8岁以下
输入/输出连接器D-sub 15针(M2.6螺纹)
质量控制器:约280克米(SWT-16,SWT-25):80克
外部尺寸:×D×H69毫米×63毫米×90毫米(控制器部分)
兼容规范CE
选项多离子规范传感器SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25) 材料
:灯丝:Ir/Y2O3 涂层
其他:PtC-Mo、SUS304、W、Kovar玻璃、Kovar/镍镀层
皮拉尼规SWU10-R *兼容传统SPU
Pirani仪表传感器SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材料:
耗材 - 点焊,其他 - BS/Ni、电镀、镍、焊接
大气压传感器SAU(NW16)材料:SUS316L
单元电缆GUC-200P(针对软件单位):0.5米、1米、2米
GUC-200A(用于SAU):0.5米、1米、2米
显示单元ISG1(不可与ST200-R一起使用)
显示单元线缆ST200-A - ISG1 电缆:2米、5米、10米、15米、20米、25米、30米、35米、40米
连接器输入/输出连接器(D-sub15-soket(M2.6毫米螺纹))
其他检验报告报告、综合校准考试成绩报告、JCSS校准证书





各模式的规格

ST200-A/ST200-R/ST200-E 可选择三种使用模式:多盎司计独立模式、带皮拉尼仪表的组合模式,以及带皮拉尼仪表和大气压力传感器的三重组合模式。

模式ST200-A/ST200-R/ST200-E
独立模式
ST200-A/ST200-R/ST200-E
+SWU10-R
组合模式
ST200-A/ST200-R/ST200-E
+SWU10-R+SAU
组合模式
测量压力范围1.0×10-5~1.0×10+1爸1.0×10-5~1.0×10+5爸1.0×10-5~1.0×10+5爸
测量精度1.0×10-4~3.0×10+0Pa:
±10%
1.0×10-4~1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10
+4~1.0×10+5PA:±20%
1.0×10-4~1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10
+4~3.0×10+5Pa:±3%F.S.(3.0×10+3Pa(标准温度:25°C)
连接图像热阴极电离真空计热阴极电离真空计热阴极电离真空计
测量压力范围图像热阴极电离真空计

三联机用于需要“大气压"时,如开膛时。


PC/智能手机连接图像

热阴极电离真空计


应用软件“UL-MOBI"

针对PC点击这里下载ULVAC展示(网站)
针对智能手机从Google Play下载


支持的设备

个人电脑Windows 10 64位及更高版本
智能手机Android 6及以上,USB Type-C



订单代码

* 未列出的组合请联系零售商。

主体测量亚单位类型拟合类型订单代码
ST200-A(模拟输出规范)SWT-16NW16210006964600
SWT-25NW25210006964700
SWT-16(与巴弗尔合作)NW16210006964800
SWT-25(与巴弗尔合作)NW25210006964900
无测量探头-210006965000
ST200-A + Pirani SWU10-R 组合
(5米单元电缆)
SWT-16/SWP-16NW16/NW16210006969000
SWT-25/SWP-25NW25/NW25210006969100
SWT-16(与Baffle合作)/SWP-16NW16/NW16210006969200
SWT-25(与巴弗尔合作)/ SWP-25NW25/NW25210006969300
ST200-R(串行通信规范)SWT-16NW16210006965100
SWT-25NW25210006965200
SWT-16(与巴弗尔合作)NW16210006965300
SWT-25(与巴弗尔合作)NW25210006965400
无测量探头-210006965500


热阴极电离真空计




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