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2026-09-28 2026-09-14 2026-09-09 2026-09-07 2026-10-16 
产品型号：SH200-A厂商性质：经销商更新时间：2026-06-18访 问 量：150
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日本ULVAC爱发科热阴极电离真空计型号：SH200-A
日本ULVAC爱发科热阴极电离真空计型号：SH200-A
可以连接不同测量范围的传感器：采用多离子计允许根据应用选择仪表。
紧凑型：与之前车型相比，体积显著缩小（控制器体积减少56%）
提升可用性：允许设置点并通过电脑/智能手机连接查询状态
产品线扩展：除了模拟输出规范（SH200-A）和串行通信规范（SH200-R）外，还新增了EtherCAT规范（SH200-E）。
耗材寿命通知功能：允许您通过耗材功率监测提前通知耗材寿命。
广泛的压力测量：从大气压到高真空范围（1×10+5~5×10-8当连接可选单元 SWU10-R 时，可以进行 Pa） 测量
准确的大气压测量：当连接可选单元SAU时，可以检查大气压是否打开了腔室。
用于各种制造设备（包括半导体和电子元件）高真空范围内的过程控制，
用于确认各种制造设备在高真空范围内达到的压力，这些设备拥有多个工艺间，如直列式和单叶片型，
用于高真空和超高真空设备的压力测量
| 类型 | SH200-A | SH200-R | SH200-E | |
| 规格 | 标准规格 | 串行通信规范 | EtherCAT 规格 | |
| 自适应多离子仪表传感器 | M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070） | |||
| 可连接传感器 | 多离子压力表传感器：一块 Pirani 仪器 SWU10-R：一块（可选） 大气 压力传感器 SAU：一块（可选） | |||
| 重复性（N 2） | SH200 独立模式：±2% | |||
| 采样时间 | 60毫秒，5个移动平均处理周期 | |||
| 测量输出 | 输出电压直流 0~10V LOG输出 0.75V / 一位数 压力转换公式：V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^ | |||
| 更新时间 | 60毫秒 | |||
| 控制输入信号 | FIL开关，FIL 1/2，脱气开关 ，使用开集电极输入，负逻辑 * FIL开关信号根据模式不同使用方式不同 | - | - | |
| 控制输出信号 | 传感器误差，设定点1/2/3，发射量变化， 灯丝功率监测 额定值：24V MAX，50mAMAX，饱和电压1V | - | - | |
| 串行通信规范 | - | RS232C/RS-485 | 以太猫 | |
| LED显示屏 | 电源/错误：电源，错误指示灯（闪烁状态因模式而异） | |||
| SET 1：Set Point 1 LED SET 2：Set Point 2 LED SET 3：Set Point 3 LED | - | - | ||
| 发射电流 | 1mA（1×10）-3Pa或更小），10μA（1×10）-3Pa及以上） | |||
| 德加 | 电子冲击脱离法（电子轰炸）1mA，330V | |||
| 传感器耐受电压 | 2×10+5Pa（绝对压力）* 法兰和夹具的耐压性必须单独考虑 | |||
| 传感器体积 | 17厘米3（M-44），19厘米3（M-45），17厘米3（M-46） | |||
| 工作温度范围 | 10~50°C | |||
| 工作湿度范围 | 15~80%（前提是无冷凝） | |||
| 储存温度 | -20~65°C（未通电时无冷凝） | |||
| 知识产权保护等级 | IP30 | |||
| 电源电压 | DC20~28V（纹波，噪声低于1%），8瓦或更低 | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub 15针（M2.6螺纹） | |||
| 质量 | 控制器：约280克，米（M-44，M-45）：80克，（M-46）：300克 | |||
| 外部尺寸：×D×H | 69毫米×63毫米×90毫米（控制器部分） | |||
| 兼容规范 | CE | |||
| 选项 | 多离子规范传感器 | M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070） 材料： 耗材1,2 - 红外针/Y2 O，3层 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar玻璃、Kovar/镍镀层 | ||
| 皮拉尼规 | SWU10-R *兼容传统SPU | |||
| Pirani仪表传感器 | SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（Φ18管端）、SWP-P15（Φ15管端） 材料： 线材 - 点焊，其他 - BS/Ni、电镀、镍、焊接 | |||
| 大气压传感器 | SAU（NW16）材料：SUS316L | |||
| 单元电缆 | GUC-200P（针对软件单位）：0.5米、1米、2米 GUC-200A（用于SAU）：0.5米、1米、2米 | |||
| 显示单元 | ISG1（不能与SH200-R一起使用） | |||
| 显示单元线缆 | SH200-A - ISG1电缆：2米、5米、10米、15米、20米、25米、30米、35米、40米 | |||
| 连接器 | 输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6毫米螺纹）） | |||
| 其他 | 检验报告报告、综合校准考试成绩报告、JCSS校准证书 | |||
SH200-A/SH200-R/SH200-E可选择三种使用模式：多O轨独立模式、带皮拉尼仪表的组合模式，以及带皮拉尼仪表和大气压力传感器的三联组合模式。
| 模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 独立模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 组合模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 组合模式 |
| 测量压力范围 | 5.0×10-8~1.0×10+1爸 | 5.0×10-8~1.0×10+5爸 | 5.0×10-8~1.0×10+5爸 |
| 测量精度 | 5.0×10-8~1.0×10+1宾夕法尼亚州： ±15% | 5.0×10-8~4.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1~3.0×10+0Pa：±10~±15% 3.0×10+0~1.0×10+4爸：±10% 1.0×10+4~1.0×10+5PA：±20% | 5.0×10-8~4.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1~3.0×10+0Pa：±10~±15% 3.0×10+0~1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4~3.0×10+5Pa：±3%F.S.（3.0×10+3Pa（标准温度：25°C） |
| 连接图像 |  |  |  |
| 测量压力范围图像 |  三联机用于需要“大气压"时，如开膛时。 | ||
| 针对PC | 点击这里下载ULVAC展示（网站） |
| 针对智能手机 | 从Google Play下载 |
| 个人电脑 | Windows 10 64位及更高版本 |
| 智能手机 | Android 6及以上，USB Type-C |
* 未列出的组合请联系零售商。
| 主体 | 测量亚单位类型 | 拟合类型 | 订单代码 |
| SH200-A（模拟输出规范） | M-44 | NW16 | 210006962800 |
| M-45 | NW25 | 210006962900 | |
| M-46 | ICF070 | 210006963000 | |
| 无测量探头 | － | 210006963100 | |
| SH200-A + Pirani SWU10-R 组合 （5米单元电缆） | M-44/SWP-16 | NW16/NW16 | 210006969400 |
| M-45/SWP-25 | NW25/NW16 | 210006969500 | |
| M-46 / SWP-CF16 | ICF070/ICF034 | 210006969600 | |
| SH200-R（串行通信规范） | M-44 | NW16 | 210006963500 |
| M-45 | NW25 | 210006963600 | |
| M-46 | ICF070 | 210006963700 | |
| 无测量探头 | － | 210006963800 |
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