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2026-09-28 2026-09-14 2026-09-09 2026-09-07 2026-10-16 
产品型号：SC1厂商性质：经销商更新时间：2026-06-18访 问 量：138
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日本ULVAC/日本爱发科冷阴极电离真空计型号：SC1
日本ULVAC/日本爱发科冷阴极电离真空计型号：SC1
真空计是一种测量仪器，用于测量我们所处空间内的压力，即低于大气压的压力。真空计与真空泵一样，是真空技术的基础。
根据测量范围和应用，有几种不同类型的测量原理。 使用真空计时，必须从中选择合适的。
冷阴极电离真空计是一种利用气体电离现象的真空计。
测量单位与测量电路的集成结构
模拟输出和设定点输出
独立的伪对数输出和设定点输出（显示单元）
采用DIN标准尺寸48 x 96毫米（显示单元）
用于各种制造设备的过程控制，包括半导体和电子元件，
用于各种工业设备的过程控制，包括炉子，
对于具有多个工艺室的各种制造设备（如直列式和单叶片型）的过程控制，
| 类型 | 传感器单元 | ||
| 类型 | SC1 | ||
| 自适应测量单元 | C-21、23、24、25 | ||
| 测量压力范围 | 1.0×10-5~ 1.0 Pa | ||
| 测量精度 | +100%，-50%（1.0×10-4~ 1.0×10-1） | ||
| 工作温度范围 | 10 ~ 40°C | ||
| 测量输出 | 非线性输出：DC0V ~ 10V（高压关闭时为10V） | ||
| SETPOINT1/2 调整输出 | 非线性输出：DC0 ~ 10V | ||
| 控制输入信号 | 高压开关 | ||
| 输出信号 | 开集电极，负逻辑 | ||
| 控制输出信号 | 出院确认 / 设定点1/2 | ||
| LED显示屏 | 功率、高压、压力保护、设定点1/2 | ||
| 电源 | DC24V±2V、150mA | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub-15 针脚（M2.6 螺纹） | ||
| 体重 | 430克（不含测量仪器） | ||
| 配件 | 一组输入/输出连接器 | ||
| 快速手册1号复制 |
* IO、模拟GND和功率GND并非隔离。
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