日本ULVAC/日本爱发科高精度气体监测仪型号：Qulee BGM2这就是ULVAC的新残余气体分析仪（RGA），以革命性的简洁性和易用性实现。一个体现各生产线技术专家声音的新工艺监控标准已经到来。非常适合真空沉积设备和各种真空炉的设备管理。

产品型号：BGM2-102
厂商性质：经销商
更新时间：2026-06-18
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日本ULVAC/日本爱发科高精度气体监测仪，型号：BGM2-102

日本ULVAC/日本爱发科高精度气体监测仪，型号：BGM2-102

气体监测仪是一种用于管理工艺气体并实时高精度测量和监测其浓度的设备，适用于各种制造工艺。利用四极杆原理，它检测气体成分并提供准确的气体成分数据。这有助于在需要严格气体管理的领域（如电子器件和半导体）中提高质量和生产效率。
气体分析仪（工艺气体监测仪）主要用于半导体制造和电子器件制造工艺，采用气体成分和浓度的实时监测。主要特点如下。 *高精度测量特定气体成分以帮助控制过程。 *实时监控工艺气体状态，实现异常早期检测和工艺优化。 *单次测量可以同时测量多个气体组分。 Albac 的气体分析仪

（工艺气体监测仪）近年来不仅支持上述工艺的高效高精度气体分析，也应用于各种工业流程和研发。

特色

具有较好性价比的通用规格
测量质量数范围：1~100 amu
集成显示设计......无需电脑即可测量
操作简单：一键功能......对所有人来说都很简单。无需复杂操作
增强的泄漏测试功能
总压力测量是可能的。
Qulee QCS 软件标配
CE标准合规

目的

薄膜成型设备（如真空沉积和溅射设备）的残余气体分析
高真空排气设备的残余气体分析
冷冻干燥设备的残余气体分析
用于研发的各种气体分析

规格

分辨率 M/△M = 1M（10% P.H.）

类型	BGM2-101	BGM2-201	BGM2-102	BGM2-202
质量分离方法	四极杆质谱仪
质量数范围	1~100 amu	1~200 AMU	1~100 amu	1~200 AMU
探测器	法拉第杯		次级电子倍增器的法拉第杯
灵敏度	10^-7A/Pa		4A/Pa
最小检测分压	10^-8爸		10^-12爸
最大操作压力	1x10^-2爸
总压力测量函数	可得
一键功能	可用/氦/氢₂氧气₂/O₂/任意气体
一键泄漏检查功能	可得
电源电压	DC24V±10% 50W
最大烘焙温度（传感器连接时）	120°C
最大烘焙温度（传感器单元连接时）	250°C
工作温度范围	10~40°C
软件	Qulee QCS 版本4.2及更高版本（兼容Windows 8/10/11）
兼容规范	CE

选项

分析管	BGM-AN101/201	背景音乐（2）-101/201
分析管	BGM-AN102/202	BGM（2）-102/202
离子源	BGM-IS01	背景音乐（2）/REGA 共享
次级电子倍增管	BGM-EM01	对于BGM-AN102/102

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