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高性能气体监测仪

日本ULVAC/日本爱发科高性能气体监测仪型号:Qulee HGM2这是ULVAC新款残余气体分析仪“Qulee:Qulee"(以太网通信支持)的型号“Qulee HGM2",以革命性的简洁性和易用性实现。
2.5 × 10 -6我们通过A/Pa(法拉第杯)实现了高灵敏度,满足了从研发应用到真空设备工艺管理的所有需求。

  • 产品型号:HGM2-302
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-18
  • 访  问  量:194
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产品详情

                                    日本ULVAC/日本爱发科高性能气体监测仪,型号:HGM2-302

                                                      日本ULVAC/日本爱发科高性能气体监测仪,型号:HGM2-302

                                           

Qulee HGM2工艺气体监测仪是一款ULVAC型号,能够在高真空和超高真空条件下进行分析。 实现10⁻¹³Pa的最小检测分压,非常适合超~超高真空下多种研发应用的分析。

特色

  • 测量质量数范围:1~200 amu

  • 非常适合各种研发应用,作为
    特性实现了最高灵敏度,达到2.5×10
    -6A/Pa

    • 通信接口:支持
      以太网通信

    • 集成显示设计,无需
      PC即可测量

    • 操作简便:一键功能(任何人都方便,无需复杂操作)

    • 兼容烘焙
      :连接传感器单元时,可实现最高250°C烘焙(传感器单元间距:300°C)

    • 配备排气功能,并采用
      电子释放方式

    • 维护:简单更换
      丝材、离子源和次级电子倍增管

    • 增强
      的预防性维护功能:离子源和次级电子倍增管的预防性维护,分析管可追溯性功能的
      集成(**号5016031)

    • 增强的泄漏测试功能:
      提供氦气泄漏测试、空气泄漏测试和积聚测试。

    • 能够测量
      总压力的总压力测量(电离真空计函数)

    • Qulee QCS兼容
      软件标配(兼容Windows 8/10/11)

    • 合规标准:
      符合CE标准

目的

  • 各种研发,如温控脱附气体分析

  • 超高真空和超高真空排气设备的残余气体分析等。

  • 气体中微量杂质的测量

  • 与太阳能电池相关的研发

  • 有机分析

  • 环境测量

规格

类型HGM2-202HGM2-302
质量分离方法四极杆质谱仪
质量数范围1 ~ 200 AMU1 ~ 300 AMU
解决M/ ΔM=1M(10% P.H.)
探测器法拉第杯次级电子倍增管法拉第杯次级电子倍增管
灵敏度2.5×10-6A/Pa
@1.0mA
4 A/Pa2.0×10-6A/Pa
@1.0mA
4 A/Pa
最小检测分压10-9巴泰10-13巴泰10-9巴泰10-13巴泰
最大规格压力1×10-2爸
丝状体LR /Y 2O3 2 枚棋子
电离电压25 ~ 70 eV(默认:70 eV)
发射电流0.1mA/0.5mA/1.0mA(默认为0.5mA)
德加电子电击释放方式:330V,5mA
总压力测量函数可用 / 10-2~ 10-5爸
一键功能包括 / He /H 2/ N/ O2 / 任何气体
一键泄漏检查功能可得
电源电压DC24V±10% 50W

质量(传感器单元/分析管)
2.4公斤 / 0.81公斤
最大烘焙温度
(传感器连接时)
250°C
最大烘焙温度
(传感器单元连接或拆卸时)
300°C
工作温度范围10 ~ 40°C
工作湿度范围15 ~ 80%(但无冷凝水)
知识产权保护等级IP30(传感器单元)
电源连接器MSTBV2.5 / 3-STF-5.08
通信接口以太网规范
外部输入/输出连接器D-sub 15销 / M2.6螺丝(可选)
通信连接器RJ45
外部输入/输出信号模拟输入(0-10V)×2,外部互锁输入(压力保护)×1,误差输出×1(在FIL、SEM、射频异常情况下),分压器设定点输出×2(异常,警告),总压力设定点输出×1
软件Qulee QCS 版本4.2及更高版本(兼容Windows 8/10/11)
标准配件电源连接器、局域网线(3米)、软件(安装光盘)、说明书(光盘)
期权(参见Quarteree期权目录)局域网线(10、15、20、30、50米)、交流适配器、USB-LAN适配器、切换集线器(8口或16口)、输入/输出接口、护套加热器、携带箱
兼容规范CE

* 如果您使用交流电源,请务必准备交流适配器(详见Qulee选项目录)


选项


分析管HGM-AN202HGM(2)-202/302
耗材/维修套件QFL-001HGM(2)-202/302
离子源QIS-001HGM(2)-202/302
次级电子倍增管QEM-001HGM(2)-202/302,RGM(2)-202/302 共享







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