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2026-06-13 2026-10-14 2026-04-22 2026-09-08 2026-02-07 
产品型号：CRTS-0厂商性质：经销商更新时间：2026-06-18访 问 量：185
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日本ULVAC/日本爱发科单传感器，型号：CRTS-0
日本ULVAC/日本爱发科单传感器，型号：CRTS-0
晶体型薄膜沉积控制器CRTS系列的单一传感器采用了晶体板冷却效率的设计。 此外，该结构允许无需工具即可轻松更换晶体板，显著缩短维护时间。 这提高了薄膜形成工艺的效率和可靠性，并支持稳定的运行。
我们提供多种传感器，用于“型号：CRTM"，以确保在各种沉积设备中的广泛应用。
你可以根据烘烤和使用温度等条件选择类型。
紧凑的传感器头使得在设备内安装更为便捷
可以指定管道长度和可弯曲性
| 类型 | CRTS-0 | CRTS-4 | CRTS-6 | CRTS-4U | CRTS-6U | ||
| CRTS-0 | CRTS-0+ 水冷外套 | ||||||
| 目的 | 沉积低于80°C | 沉积低于300°C | 沉积低于100°C | 沉积低于200°C | 沉积低于100°C | 超高真空装置沉积低于200°C | |
| 烘焙 | 不兼容 | 不兼容 | 不兼容 | 不兼容 | 反响 | 反响 | |
| 安装晶体数量 | 1 | ||||||
| 支持频率 | 4MHz，5MHz（6MHz;详细规格另述） | ||||||
| 水冷管道 | 管道长度 | — | 100-800毫米（长度和弯曲度可指定） | ||||
| 外径 | — | 6毫米 | 4毫米 | 6毫米 | 4毫米 | 6毫米 | |
| 水体积 | — | 400cc/分钟 | 200cc/分钟 | 400cc/分钟 | 200cc/分钟 | 400cc/分钟 | |
| 插头 | — | 3/8英寸 | 1/4英寸 | 3/8英寸 | 1/4英寸 | 3/8英寸 | |
| 输入端子 | — | Φ30 | 无/ICF70/Φ30 | 无/ICF70/Φ30 | ICF70 | ICF70 | |
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