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2026-06-05 2026-10-08 2026-09-11 2026-10-13 2026-09-08 
产品型号：RMG-1303厂商性质：经销商更新时间：2026-06-22访 问 量：170
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ULVAC/日本爱发科高频电源系统，型号：RMG-1303
ULVAC/日本爱发科高频电源系统，型号：RMG-1303
等离子体发电电源或薄膜形成电源是一种通过在电极之间施加电压来产生等离子体的装置。
利用该技术，实现了PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化等真空工艺。
通过这些工艺，薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上，以创造新的附加价值。 这项技术被广泛应用于我们日常使用的产品中。
各种膜的形成创造了附加价值，改变了它们的形状，现在也被用作我们日常生活中熟悉的产品。
相关行业极为广泛，涵盖半导体和电子设备、显示器、可再生能源、储能、汽车等。 胶片材料的选择和所用工艺对胶片形成至关重要，在考虑生产效率和质量时，动力源的选择也是一个关键因素。
薄膜形成工艺包括PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化，每种工艺都需要合适的电源。
·带内置积分器的高频电源：“
型号：RMG" ·多功能高频电源系统（射频电源系统）：“型号：RF-N"
• 多种高频电源选项：“型号：MEX-N"/" 型号：EXN“ / "型号：PHS-N“ / "型号：EXO“
特色
可在1W的低输出下实现控制
标配500Hz~100kHz的脉冲射频输出功能
外接同步端子标配
支持单相100V~220V / 50Hz~60Hz的宽输入范围
紧凑轻量电源，尺寸为200毫米×200毫米×350毫米/10公斤
CE、KC、半F47、半S2、RoHS
| 模型 | RMG-1303 | |
| 电力功能部 | 输入电压 | 单相交流电100-220V |
| 输入容量 | 低于700VA | |
| 振荡频率 | 13.56MHz±0.01% | |
| 额定功率 | 300W（50Ω负载时） | |
| 匹配功能部门 | 额定功率 | 300W |
| 允许输出电流 | 10Arms | |
| 允许输出电压 | 2500Vpp/-2500Vdc（标准）*1 | |
| 输出电极 / 选项 | 2-M4（标准）/N，HN，DIN7/16 *2 | |
| 普通省 | 冷却方法 | 强制风冷 |
| 外部尺寸（W×D×H）不包括突出物 | 200×350×200（毫米） | |
| 质量 | 大约10公斤 | |
| 兼容规范 | CE、KC、半F47、半S2、RoHS（欧洲） | |
*1 额定电压可以作为选项更改。
*2 你可以选择更换连接器输出类型。
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