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2026-06-05 2026-10-08 2026-09-11 2026-10-13 2026-09-08 
产品型号：PHS-04N厂商性质：经销商更新时间：2026-06-22访 问 量：175
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ULVAC/日本爱发科高频电源系统，型号：PHS-04N
ULVAC/日本爱发科高频电源系统，型号：PHS-04N
等离子体发电电源或薄膜形成电源是一种通过在电极之间施加电压来产生等离子体的装置。
利用该技术，实现了PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化等真空工艺。
通过这些工艺，薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上，以创造新的附加价值。 这项技术被广泛应用于我们日常使用的产品中。
各种膜的形成创造了附加价值，改变了它们的形状，现在也被用作我们日常生活中熟悉的产品。
相关行业极为广泛，涵盖半导体和电子设备、显示器、可再生能源、储能、汽车等。 胶片材料的选择和所用工艺对胶片形成至关重要，在考虑生产效率和质量时，动力源的选择也是一个关键因素。
薄膜形成工艺包括PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化，每种工艺都需要合适的电源。
·带内置积分器的高频电源：“
型号：RMG" ·多功能高频电源系统（射频电源系统）：“型号：RF-N"
• 多种高频电源选项：“型号：MEX-N"/" 型号：EXN“ / "型号：PHS-N“ / "型号：EXO“
可以控制多个射频电源的相位。
相位偏移函数会根据阴极之间的差异进行调整，从而实现一个稳定且变化最小的过程。
| 模型 | PHS-04N | PHS-08N | |
| 输入规范 | 输入电压 | 单相交流 100V-240V | |
| 输入容量 | 低于70VA | ||
| 输出规范 | 输出通道数量 | 4 | 8 |
| 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% | ||
| 相位设定范围 | 0°~359.9° | ||
| 外部尺寸（W×D×H）不包括突出物 | 480×192×49（毫米） | ||
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