OHKURA/大仓质量流量计MF5100B系列是一款质量流量计和质量流量控制器，兼具易用性和高性能，具有宽流量范围、高温度稳定性和三模式软启动功能。

OHKURA/大仓质量流量计MF5100B系列

OHKURA/大仓质量流量计MF5100B系列

特色

■ 宽流量范围
我们提供多种流量，从5立方厘米到最高400SLM。

■ 高可靠性
通过集成每个电路并优化机械系统，尽管体积紧凑，仍实现了高可靠性。

■ 软启动功能
：内置软启动功能支持线性启动、可调节时间（最长70秒），并支持三种模式（切换设置、开机或打开外部阀门→）。

■ 高稳定性：
温度稳定性为0.05%/°C，泄漏标准可达1×10-10Pa·m³/s（He）。

* 请参阅规格表了解规格。

形　式 MF5111B MF5141B MF5151B MF5112B MF5142B MF5152B MF5113B MF5143B種　　別 マスフローメータ マスフローコントローラ（NC） 　　　　　〃　　　　　流　量 小中流量 （NO） マスフローメータ マスフローコントローラ（NC） 　　　　　〃　　　　　（NO） マスフローメータ マスフローコントローラ（NC） 大  流  量 特大流量 ※ NC：ノーマルクローズ、 NO：ノーマルオープン

機　種     標準レンジ     精度定格 直線性 再現性 応答時間 最高動作圧力 耐圧 圧力損失 動作差圧 流量変動 使用温度範囲 温度安定度  リーク規格  取付姿勢誤差流量設定 出力特性  接ガス部材質 配管接続  外形寸法 [mm] （除コネクタ） 質量[kg] （除電源、ケーブル） 電源 ケーブル 消費電力 ソフトスタート回路 マスフローメータ  大流量用 MF5112B 小、中流量用 MF5111B 特大流量用 MF5113B 大流量用  MF5142B（ノーマルクローズ） MF5152B（ノーマルオープン）   小、中流量用  MF5141B（ノーマルクローズ） MF5151B（ノーマルオープン）   特大流量用  MF5143B （ノーマルクローズ） ±2％ F.S. 以下 ±0.5％　F.S. 以下 ±0.2％　F.S. 以下 約３s以内（出力電圧が設定値の±２％　F.S. 以内への収束時間） 1.0MPa 1.5MPa± 1 ％　F.S. 以下 ±2％ F.S. 以下 ± 1 ％　F.S. 以下 0～    5 SCCM 0～  0.5 SLM 0～  10 SCCM 0～  1 SLM 0～  20 SCCM 0～  2 SLM 0～  30 SCCM 0～  3 SLM 0～  50 SCCM 0～  5 SLM 0～100 SCCM 0～10 SLM 0～200 SCCM 0～20 SLM 0～300 SCCM0～  30 SLM 0～  50 SLM 0～100 SLM0～200 SLM0～400 SLM  0.1  ～    5 SCCM   0.2  ～  10 SCCM   0.4  ～  20 SCCM   0.6  ～  30 SCCM   1     ～  50 SCCM   2     ～100 SCCM   4     ～200 SCCM   6     ～300 SCCM 10     ～500 SCCM   0.02～    1 SLM   0.04～    2 SLM   0.06～    3 SLM   0.1  ～    5 SLM0.2 ～10 SLM 0.4 ～20 SLM0.6～  30 SLM 1   ～  50 SLM 2   ～100 SLM4～200 SLM 8～400 SLM5kPa以下 10kPa以下 16kPa以下 －   5～45℃（ガス温度も同じ）  ±0.1％/℃　F.S. 以下（5～45℃において）  ±0.05％/℃　F.S. 以下はオプション＊6  1.013×10－9Pa・m3/s(He)以内  1.013×10－10Pa・m3/s(He)以内はオプション   約±0.5％  F.S. 以下（取付姿勢は自由） 出力電圧０～５V  DC、負荷抵抗２kΩ以上、 リップル20mVP－P以下 SUS316、フッ素ゴム 1/4 スウェージロックR 1/2 スウェージロックR 3/8 スウェージロックR 1/4 スウェージロックR 1/2 スウェージロックR 3/8 スウェージロックR（ VCRR／VCOR、他はオプション）  0.60 1.6 2.0 0.75 3.0 3.7専用電源SE5000Cシリーズ使用、１チャンネル用（SE5101C01）、４チャンネル用（SE5401C01） １VA以下 マスフローコントローラ ±0.25％　F.S. 以内 ５kΩポテンショメータまたは、外部信号０～５V  DC（１～５V  DCはオプション） 出力電圧０～５V  DC、負荷抵抗２kΩ以上、 　　　　リップル20mVP－P以下 出力電圧１～５V  DC（オプション） 34～275kPa 108～275kPa 69～275kPa－ － － －  ＊１. 標準レンジはN2ガスに対するものです。ガスの種類により、この通りのレンジにできない場合があります。 　　　校正基準；0℃，1013hPaです。 ＊２. 差圧で使用する場合、２次圧が真空またはそれに近い場合は規定の流量が流れないことがあります。 　　　２次側負圧の場合はご相談ください。 ＊３. 上記規定内の動作差圧で、１次圧を変化させた場合の質量流量変化です。 ＊４. 接ガス部にこれ以外のパッキン等が必要な場合はご相談ください。 ＊５. ノーマルクローズのみ適用されます。