OHKURA/大仓金属隔膜减压阀RD2210A系列该金属隔膜减压阀可用于半导体工业应用，如掺杂和外延、各种化学分析、特种气体、高纯度气体和腐蚀性气体

Name: OHKURA/大仓金属隔膜减压阀RD2210A系列
Brand: OHKURA/大仓
Price: 99999 CNY
Availability: InStock

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产品详情

OHKURA/大仓金属隔膜减压阀RD2210A系列

■ 清洁部件：
隔膜通过金属接头与主体密封，所有产品均经过高爆泄漏检测，无油无水，且为清洁产品。

■ 高度多功能性：提供8种高压和低压两种类型
，提供面板安装和底部安装选项。

项目	高压 RD210A1□1□	低压：RD210A4□2个□
耐压	最大24.5MPa	最大2.94MPa
初级压力	最大14.7MPa	最大2MPa
设定压力范围	171.6kPa 343kPa 686kPa 1372kPa 2059kPa	171.6kPa 343kPa 686kPa
有效孔口	φ0.7	φ2
CV值	0.015	0.1
一次压力特性*1	0.5% ×1 一次压力特性（设定压力变化范围/一次压力变化范围）×值为100（10升/分钟时）	1.3% ×1 初级压力特征（设定压力变化/一次压力变化范围）×值100（10升/分钟时）
可重复性	±0.98kPa
滞后效应	±3.92kPa
外部泄漏	1.013×10-10Pa·m3/s（He）或更低
内部泄漏	1.013×10-8Pa·m3/s（氦）或更小
流体面材料	SUS316，SUS316L，PCTFE
工作温度范围	-10~80°C
移植	60°IN×2 出×2	90°内×1 外×2
连接端口（连接录像机）	1/4NPT Rc1/4 VCR1/4GR 2 2 VCR是Swagelok公司的注册商标。
质量	920克
面板切割	φ33