OTSUKA/大塚电子测量仪器加载端口兼容胶片厚度测量系统GS-300

该系统具备模式匹配功能，X-Y定位精度为2微米或以下。

OTSUKA/大塚电子测量仪器加载端口兼容胶片厚度测量系统GS-300

OTSUKA/大塚电子测量仪器加载端口兼容胶片厚度测量系统GS-300

产品信息

• 支持与Φ300mm EFEM单元备用端口集成

• 实现晶圆内嵌布线图案的模式对齐

• 满足半导体工艺的高通量需求

• 支持缺口对齐功能

• 小尺寸规格

• TSV嵌入图案晶圆研磨后硅厚度

• Φ300mm尺寸的晶圆厚度

规格

主要代理产品:

CCS晰写速、EBARA荏原、ANALYZER第一热研、TORAY东丽、Kakuhunter写真化学、SEN日森、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、SIBATA柴田、SONIC索尼克、REVOX莱宝克斯、NEWKON新光、SANKO三高、NPM日脉、HAYASHI林时计、SERIC索莱克、NS、RIYYO理阳、ESSGES宜格斯、AMADA、ATAGO爱拓、PFERD马圈、TEMTOP乐控、TSUBAKI椿本、NIDEC、NFK南国工业株式会社、EYE岩崎、TOKI东机产业、ULVAC爱发科、NIKKATO日陶、MATSUO松尾、HEIDON新东科学、JIKCO吉高、WATSON沃森、ITOH伊藤、OTSUKA大塚电子、kakuhunter写真化学、NIPPON GEAR等多家品牌授权认证。