TOKYO RYUKI东京流机 微型面积式流量计 小流量监测型 MF-100针对小流量管路场景设计，采用小型化机身结构，适配小口径工业管路与设备内置安装，通过浮子高度直观显示微量流体流量，读数清晰安装便捷，广泛应用于半导体制程、实验室设备、精密仪器配套等微量流量监测场景。

产品概述

在精密半导体制程、实验室分析设备、小型仪器配套等场景中，微量流体的精准流量监测是保障制程精度与设备运行的关键。TOKYO RYUKI东京流机 微型面积式流量计 小流量监测型 MF-100是东京流机针对小流量场景推出的微型流量监测产品，基于面积式浮子测量原理，采用小型化机身设计，适配小口径管路与设备内置安装需求，可直观呈现微量流体的流量变化，为精密场景提供稳定的流量监测方案。

产品特点

1. 微型化机身设计，整体体积小巧，适配小口径管路安装，也可嵌入各类精密设备内部，节省安装空间，适配设备集成需求。

2. 高透玻璃锥管搭配精细流量刻度，即使在微量流量区间也能清晰读数，现场运维人员可直观获取流量数据，无需额外二次仪表。

3. 可适配纯水、微量化学药液、压缩空气、特种气体等多种介质，覆盖半导体制程、实验室分析、精密仪器等多场景的微量流体监测需求。

4. 纯机械结构无需外部供电，依靠浮子与锥管的配合实现流量测量，运行稳定可靠，日常维护成本低，适配各类小型设备的配套需求。

5. 标准微型螺纹接口，安装拆卸便捷，密封性能稳定，可适配多数常规小口径工业管路与设备接口。

技术参数

• 型号：MF-100

• 测量原理：面积式浮子测量

• 连接规格：内螺纹连接

• 产品类型：微型小流量型

• 承压上限：0.6MPa

• 适用温度：0~60℃

• 精度等级：±5% FS

• 适用介质：液体、气体

适用场景

该产品聚焦微量流量监测需求，广泛适配多个精密行业场景：

• 半导体制造：晶圆清洗设备、光刻制程管路、微量药液输送系统的流量监测，保障精密制程的流体参数稳定，支撑芯片制造的良率管控。

• 制药 / 生物制药：实验室分析仪器、微量给药系统、纯化水支路管路的流量测量，满足制药研发与生产环节的精密流量管控要求。

• 机械设备：精密检测仪器、激光设备、小型实验装置的配套流量仪表，为各类精密设备提供准确的流量参数参考。

• 化工行业：小型实验装置、微量试剂输送管路、小试生产线的流量监测，适配化工研发与小规模试制的流量管控需求。

• 环保行业：小型水质监测设备、取样分析系统的流量控制与监测，保障环境监测取样的准确性与稳定性。

安装与维护说明

为保障微量流量的测量精度与产品使用寿命，安装与运维需注意以下事项：

1. 产品需垂直安装于管路中，保持流体自下而上通过仪表，安装倾斜会导致浮子偏移，对微量流量的测量精度影响较大。

2. 测量介质需保持洁净，建议在仪表前端加装微型过滤装置，防止微小杂质卡滞浮子，影响测量稳定性与产品使用寿命。

3. 安装与搬运过程中避免碰撞、挤压玻璃锥管，防止玻璃破损导致介质泄漏，保障使用安全。

4. 定期清理玻璃管内壁的附着物与结垢，保障刻度清晰度，同时避免浮子卡滞，维持测量准确性。

TOKYO RYUKI东京流机 微型面积式流量计 小流量监测型 MF-100凭借小巧的机身与稳定的微量流量监测性能，可满足各类精密场景的小流量测量需求，是微量流体管路与精密设备配套的高性价比选择。