FUKUDA 长野福田 氦检漏系统（型号 MSX-6110）是株式会社フクダ生产的轰鸣 / 粗漏 / 精细泄漏测试系统，在管理轰鸣测试（氦气浸渍）、粗漏率测试和精细漏率测试条件的同时进行泄漏测试。设备为 8 通道并行处理，处理速度 1.0~1.2 秒 / 个，粗漏检测范围 2×10⁻² 至大漏，细漏检测下限 1×10⁻⁹ Pa・m³/s（氦气），适用于晶振、MEMS、SAW 滤波器、光学器件

产品概述

FUKUDA 长野福田 氦检漏系统（型号 MSX-6110）是株式会社フクダ面向小型电子元件气密检测开发的综合测试系统，集成轰鸣测试（Bombing，即氦气浸渍）、粗漏率测试和精细漏率测试三种功能于一体。所谓轰鸣测试，是将被测元件置于高压氦气环境中浸渍一定时间，使元件外壳如果存在微小漏孔，氦气会在压力作用下渗入元件内部；随后将元件转入氦质谱检漏仪或真空腔，测量释放出的氦气流量，反推漏率。粗漏测试用于快速筛除存在明显大漏的元件，细漏测试用于对粗漏合格的元件进行高灵敏度氦质谱检漏。

技术特点

FUKUDA 长野福田 氦检漏系统（MSX-6110）为 8 通道并行处理结构，可同时对 8 个元件进行测试，处理速度按轰鸣时间不同为 1.0 秒 / 个（轰鸣 40 分钟条件）或 1.2 秒 / 个（轰鸣 60 分钟条件），适合大批量电子元件生产线。设备检测对象尺寸范围为 1.2×1.0 至 2.0×1.6mm，对应晶振、MEMS 传感器、SAW 滤波器、晶体振荡器、光学器件、激光二极管、功率半导体等小型密封元件。粗漏检测范围为 2×10⁻² Pa・m³/s 至大漏（等效标准漏率），细漏检测下限达 1×10⁻⁹ Pa・m³/s（氦气）。设备电源为 AC200V±10% 三相 50/60Hz，功耗 4kVA，工作气源要求 0.5MPa G 以上，外形尺寸 W1800×D1150×H1800mm（不含信号塔），整机为立式柜式结构，内置工业控制计算机和操作显示器。

应用领域

产品适用于石英晶振、MEMS 加速度计 / 陀螺仪、SAW/BAW 滤波器、光学器件、激光二极管、功率半导体、CAN 收发器、MEMS 麦克风等小型密封电子元件的出厂 100% 气密检测，也可用于汽车电子、通信模块、航天级电子元件的可靠性筛选。设备在半导体封装、电子元器件制造、汽车电子等行业的密封件质量控制中使用。

技术参数