USHIO 牛尾 汞氙灯，额定功率 350W，i-line 365nm 谱线稳定，照度均匀，适配半导体光刻、精密掩膜曝光设备使用。

USHIO 牛尾 汞氙灯UXM-Q350KTB2 为半导体光刻、精密曝光工艺开发的短弧汞氙光源，365nm i-line 波段能量输出稳定，光斑均匀度良好，适合掩膜曝光、微结构光刻、厚胶曝光等精密制程。USHIO 牛尾 汞氙灯采用特制石英泡壳，降低紫外波段吸收，保证紫外能量高效输出，广泛用于 MEMS 器件、PCB 精细线路、光学元件微结构加工设备。灯管额定功率 350W，运行过程发热量较高，设备必须配套强制散热系统，稳定灯管工作温度，维持光谱输出稳定。该型号灯管的光强波动幅度小，曝光工艺中可以保障批次产品加工一致性，减少曝光不均带来的不良品。多用于半导体制程、精密元件制造产线，作为曝光设备核心光源。选型替换时，除核对灯管电气参数，还需要匹配设备反光罩、滤光组件，保证目标波段能量正常输出。产品出厂附带光谱测试数据，可作为产线工艺校验参考。灯管属于消耗品，到达额定寿命后建议更换，防止电极损耗造成光谱偏移，影响光刻工艺结果。设备操作需严格遵守厂商规范，做好紫外防护，设备腔体需要保持洁净，粉尘堆积会降低反光系统效率，造成紫外能量衰减。规格书完整标注外形尺寸、电气参数、光谱分布、安全规范，方便设备工程师做工艺评估、维护管理。