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更新时间：2026-08-20 
浏览次数：207什么是真空阀？
通断隔离：断开 / 接通真空管路，把真空腔和泵、大气隔开，检修时隔离腔体，防止真空破坏。
调节真空度：控制气体流量，微调腔内压力。
安全保护：防止大气倒灌、泵油反流污染真空腔体。
普通水阀、气动阀不能直接当真空阀：负压下密封容易漏气，真空阀对密封、漏率有严格要求。
手动真空阀：手拧手柄，小型实验设备用。
气动真空阀：压缩空气驱动，工业设备常用，自动化设备、镀膜机、真空治具。
电磁真空阀：线圈通电启闭，多用于小型真空回路。
挡板阀：大口径，高真空管路通断，半导体、镀膜设备。
角阀：90° 转角，安装紧凑，最普及，很多真空机标配。
球阀（真空球阀）：流阻小，适合粗真空。
隔膜阀：密封洁净，少污染，半导体洁净真空。
放气阀（充气阀）：专门给真空腔破真空，把大气缓慢放进腔体。
粗真空：大气压～1Pa，普通真空吸盘、简易真空箱
高真空：1Pa～10⁻⁵Pa，镀膜、电子束设备
不同真空等级，阀门结构、密封材质（橡胶、金属密封）不一样；金属密封阀门可以做到超高真空，橡胶密封只能到高真空。
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