日本 MIYUKI 美幸辉 气动真空蝶阀完整手册

日本 MIYUKI 美幸辉 气动真空蝶阀完整手册

一、产品定位

MIYUKI 美幸辉气动真空蝶阀（B 系列、BH 系列）为洁净高真空专用通断 / 两段调节阀，日企原厂无尘室组装，低放气、超低泄漏，适配半导体、光学镀膜、锂电脱泡、真空炉等高洁净真空设备；仅B、BH 为纯气动款，BAZ/BAR 为电动调节型，下文只讲气动型号。

二、型号命名规则（以 B-J25、BH-N63 举例）

1. 首字母：驱动 / 功能系列

B：标准两位气动蝶阀 → 仅 0° 全关 / 90° 全开，单纯通断隔离

BH：两段式双气缸气动蝶阀 → 0° 全关 + 0~45° 慢开 / 慢排 + 90° 全开，单阀实现快慢充气 / 泄压

2. 第二位字母：法兰标准

J：JIS 日标法兰（25A/50A/80A… 设备标配）

N：KF (NW) 快装法兰（实验室、小型腔体拆装便捷）

I：ISO-K 真空法兰（大口径工业真空主管）

C：CF 超高真空刀口法兰（可高温烘烤、极限高真空）

3. 末尾数字：公称通径（25A~350A）

25=DN25、40=DN40、50=DN50、63=DN63、80、100、160、200、250、300、350A

示例

B-J25：标准两位气动、JIS 法兰、DN25 真空蝶阀

BH-N63：两段快慢排气气动、KF63 快装、DN63 真空蝶阀

三、通用核心技术参数（B/BH 气动系列统一标准）

真空压力区间：常压 10⁵ Pa ～ 高真空 1×10⁻⁵ Pa

泄漏性能

阀体内部泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

阀杆轴封外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，满足氦检标准

材质配置

过流腔体、蝶板：SUS304 不锈钢，镜面抛光、低产尘低放气

标准密封：FKM 氟橡胶 O 型圈；可选 Kalrez 全氟醚（耐腐蚀、耐高温）

耐温规格

阀体烘烤最高：150℃

气动气缸环境温度：≤40℃

气动驱动条件

气源压力：0.4~0.6 MPaG，洁净干燥无油压缩空气

气缸结构：齿轮齿条、末端气垫缓冲，启闭冲击小、寿命 100 万次 +

安装特性：无流向限制、任意角度垂直 / 水平安装，阀体超薄大通流导

电气选配：内置微动开关（NPN/PNP），输出开 / 关到位信号接入 PLC

四、两大气动系列核心区别（选型关键）

1. B 系列（标准两位通断阀）

动作逻辑：单气缸，仅 2 个位置：0° 全关 / 90° 全开

适用场景：真空泵隔离阀、真空管路切断、腔体总通断、简单抽气隔断

优势：结构简单、价格更低、响应速度快

2. BH 系列（两段快慢调节气动阀）

动作逻辑：双段气缸，三状态：全关 → 0~45° 慢速开度 → 90° 全开

核心用途：腔体缓慢破真空、分段泄压，防止膜层起泡、锂电电解液飞溅

工艺优势：无需额外旁路针阀，单阀完成慢充气 + 快速抽气，简化管路

五、法兰与口径覆盖

法兰：JIS / KF (NW) / ISO-K / CF 四规格原厂互换

口径范围：25A ~ 350A（BH 最大 350A，B 系列最大 400A）

六、核心产品优势

超高流导：同口径真空阀流阻极低，抽气 / 充气流量大，缩短腔体循环节拍

超高洁净等级：无尘室装配、无油脂污染，适配半导体、光学镀膜严苛洁净要求

气垫缓冲气缸：蝶板无剧烈撞击，降低噪音、延长密封件使用寿命

极低泄漏：双层阀杆密封，长期维持高真空，稳定腔体真空度

集成阀位反馈：出厂可预装微动开关，自动化产线联锁控制更便捷

通用性强：真空 / 微正压通用，氮气、氩气、干燥工艺气体均可使用

七、典型应用行业

光学真空镀膜、PVD/CVD 半导体设备

锂电池真空脱泡、真空注液、电芯烘烤炉

实验室科研真空腔体、氦质谱检漏系统

热处理真空炉、光伏镀膜、电子元件封装设备