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日本EBARA荏原干式真空泵EV-S100(P/N)

日本EBARA荏原干式真空泵EV-S100(P/N)
作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原te有的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。

产品型号：EV-S200(P/N)
厂商性质：经销商
更新时间：2026-02-05
访问量：204

联系电话：0592-6689389

日本EBARA荏原干式真空泵EV-S100(P/N)

EV-S 型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如： load lock、 SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 "。

●在“低能耗、占地小、轻量化"方面达到业内yi流水平；

●耐腐蚀材料、氮气吹扫功能（可选）；

●在不同频率（50/60Hz）下性能一致；

●通过增强的传感功能减少停机时间。

型号	EV-S20(P/N)	EV-S50(P/N)	EV-S100(P/N)	EV-S200(P/N)
zui大抽气速率（L/min）	1,670	5,000	10,000	20,000
功率（极限压力时）（kW）※	0.4	0.55	0.65	0.75
尺寸（W×D×H mm）	230×450×274	230×450×520	260×510×520	275×650×580
重量（kg）	60	100	120	170

※ 无“氮气吹扫"时的数值

EV-S20 (P/N) 是日本荏原（EBARA）旗下 EV-S 系列中的轻载型多级干式真空泵，包含 EV-S20P 与 EV-S20N 两个子型号，核心差异在于材质与氮气吹扫配置，广泛用于半导体、面板制造等高精度真空场景。

结构与工作原理

采用荏原zhuan利的罗茨式转子设计，多级压缩结构实现高效抽气，无需油润滑，避免油蒸汽污染制程环境。通过压缩功耗优化与电机效率提升，降低运行能耗；同时集成可编程 LCD 控制器，支持预警设置、数据存储与故障诊断，减少停机时间。

应用领域

半导体制造：PVD（物理气相沉积）、刻蚀、灰化、负载锁定与传输系统。
平板显示：液晶面板制造的真空工艺环节。
其他精密设备：扫描电镜（SEM）、计量仪器等需要洁净真空环境的设备。

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