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日本EBARA荏原干式真空泵EV-M20N

日本EBARA荏原干式真空泵EV-M20N
EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求，实现了停机风险的减少和运行成本的降低。

产品型号：EV-M102N
厂商性质：经销商
更新时间：2026-02-05
访问量：185

联系电话：0592-6689389

日本EBARA荏原干式真空泵EV-M20N

·产品系列丰富，可应对多种工艺、抽气速率需求;兼顾高负荷与低功耗;

可应对腐蚀性气体(标配耐腐蚀材料)。

型号	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M802N	EV-M505SF	EV-M805SF	EV-M1205SF
zui大抽气速率（L/min）	1,800	10,000	20,000	30,000	50,000	80,000	50,000	80,000	110,000
功率（极限压力时）（kW）	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	2.8	3.9	4.6	5.3
尺寸（W×D×H mm）	370×770×450	380×790×752	380×820×752	380×910×830	485×975×870	630×1,000×1,030	485×990×910	630×1,100×1,070	630×1,240×1,044
重量（kg）	170	320	360	400	500	740	580	820	870

日本荏原（EBARA）EV-M20N 干式真空泵 —— 这是 EV-M 高负荷系列的紧凑型耐蚀型号，专为半导体 / 面板等有大量反应副产物、腐蚀性气体的严苛制程设计，无油、耐高温、低功耗且 50/60Hz 性能一致。

核心技术参数

参数	数值
抽速（50/60Hz 一致）	1800 L/min
极限压力	5 Pa
进气口 / 出气口	NW40 / NW40
极限真空功耗	1.2 kW；装机容量 3.3 kVA
冷却水	流量 3–8 L/min，zui高 30℃
氮气吹扫流量	26–31 Pa·m³/s
尺寸（W×D×H）	370 × 770 × 450 mm
重量	170 kg
电源	三相多电压可选（200V/400V/460V 50/60Hz）
认证	SEMI S2、CE、NRTL

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