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2026-02-07 2026-03-09 2026-05-27 2026-09-23 2026-09-14 
产品型号：EV-M302N厂商性质：经销商更新时间：2026-02-05访 问 量：160
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包邮日本EBARA荏原干式真空泵EV-M202N
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EV-S 型 为 独 立 安 装 的 罗 茨 型 干 泵，有 着 从 轻 制 程 工 艺（如： load lock、 SEM） 到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 "。
特 点
●在“低能耗、占地小、轻量化"方面达到业内yi流水平；
●耐腐蚀材料、氮气吹扫功能（可选）；
●在不同频率（50/60Hz）下性能一致；
●通过增强的传感功能减少停机时间。
型 号 | EV-S20(P/N) | EV-S50(P/N) | EV-S100(P/N) | EV-S200(P/N) |
zui大抽气速率（L/min） | 1,670 | 5,000 | 10,000 | 20,000 |
功率（极限压力时）（kW）※ | 0.4 | 0.55 | 0.65 | 0.75 |
尺寸（W×D×H mm） | 230×450×274 | 230×450×520 | 260×510×520 | 275×650×580 |
重量（kg） | 60 | 100 | 120 | 170 |
※ 无“氮气吹扫"时的数值
EV-S20 (P/N) 是日本荏原（EBARA）旗下 EV-S 系列中的轻载型多级干式真空泵，包含 EV-S20P 与 EV-S20N 两个子型号，核心差异在于材质与氮气吹扫配置，广泛用于半导体、面板制造等高精度真空场景。
半导体制造：PVD（物理气相沉积）、刻蚀、灰化、负载锁定与传输系统。
平板显示：液晶面板制造的真空工艺环节。
其他精密设备：扫描电镜（SEM）、计量仪器等需要洁净真空环境的设备。
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