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产品型号：CRYO-U8H厂商性质：经销商更新时间：2026-06-18访 问 量：178
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干式真空泵是一种不使用油或液体密封的非接触式真空泵。它们实现了清洁的真空，没有回流或水和油的扩散。此外，无需定期维护，如补充水或更换水或油，操作非常简便。它是
半导体制造工艺和FPD/LED/太阳能电池制造过程中的泵，这些工艺强调清洁性。近年来其应用范围扩大，因为它能够轻松、干净地排出质谱仪和电子显微镜等分析仪的气体。此外，由于真空清洁且维护方便，它们也被应用于真空干燥工艺和薄膜沉积工艺等多种应用。
日本爱发科/ULVAC低温干式真空泵CRYO-U8H
Albuck Cryo 已被广泛应用于电子、光学、太阳能、核聚变、航天开发等领域，积累了的业绩。
日本爱发科/ULVAC低温干式真空泵CRYO-U8H
特色
轻便、紧凑且大量运输，是标准的低温泵。
适合实验设备和小型生产设备。
支持多重操作（最多3台）。
超高真空（10-8Pa或更小）是可能的。
轻量紧凑：标准机型，出货量大，适配实验与小型生产设备
超高真空：极限压力可达 10⁻⁷ Pa（10⁻⁹ Torr），可实现 10⁻⁸ Pa 以下超高真空
大抽速：对水蒸气抽速（4000 L/s），适合高水汽环境
多机并联：最多支持 3 台同步运行，提升抽气能力
长寿命：维护周期约 16,000 小时，运行稳定。
日本爱发科/ULVAC低温干式真空泵CRYO-U8H 工作原理
一级制冷（80K）：冷却屏蔽筒与挡板，减少室温辐射热。
二级制冷（10–12K）：冷却 15K 冷凝板与吸附板，气体在表面冷凝 / 吸附，实现抽气。
日本爱发科/ULVAC低温干式真空泵外部尺寸（单位：毫米）
日本爱发科/ULVAC低温干式真空泵CRYO-U8H
规格
| 排气速度（20°C） | 氮 | L/s | 1,700 |
| 氢 | 2,700 | ||
| 氩气 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 到达压力 | 帕（托尔） | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s（Torr・L/s） | 1.2×103(8.9) |
| 排气容量 | 氩气 | Pa・L（Torr・L） | 1.0×108（7.6×105) |
| 氢 | 1.0×106（7.6×103) | ||
| 冷却下降时间 （动力循环） | min（Hz） | 100/90(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-200,6BANSI，ICF253 | ||
| 压缩机单元 | C10T，C10AT | ||
| 质量 | 公斤 | 20.8 | |
*维护间隔：16,000小时
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