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产品型号：CRYO-U4H厂商性质：经销商更新时间：2026-06-15访 问 量：191
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日本爱发科/ULVAC低温干式真空泵CRYO-U4H
真空泵是一种从密封空间中排出气体的机器，使压力状态（真空）低于大气压。真空泵有多种类型，取决于其排气机制和速度，需根据其用途和应用
选择合适的。1×10-2 Pa到1×10-6 Pa的范围称为高真空;1×10-7 Pa到1×10-9 Pa称为超高真空;低于1×10-10 Pa称为超高真空。
干式真空泵是一种不使用油或液体密封的非接触式真空泵。它们实现了清洁的真空，没有回流或水和油的扩散。此外，无需定期维护，如补充水或更换水或油，操作非常简便。它是
半导体制造工艺和FPD/LED/太阳能电池制造过程中的泵，这些工艺强调清洁性。近年来其应用范围扩大，因为它能够轻松、干净地排出质谱仪和电子显微镜等分析仪的气体。此外，由于真空清洁且维护方便，它们也被应用于真空干燥工艺和薄膜沉积工艺等多种应用。
内置两级 GM 制冷机：
一级 ≈ 80K：冷却辐射屏蔽筒、挡板，减少室温热负荷。
二级 ≈ 10–15K：低温冷凝板 + 活性炭吸附板，气体在表面冷凝或吸附，实现抽气。
无油、无运动部件，洁净真空，适合半导体、镀膜、分析仪器。
低温泵是一种低压真空泵，设计用于实现从高真空到超高真空的各种条件。该泵在内部安装的超低温区冷凝并吸附气体，高效捕获气体。低温泵最大的特点是能够提供无油污染的清洁真空。
此外，尽管采用吸附方法，低温泵以其排气速度远高于其他真空泵而闻名。因此，低温泵被广泛应用于需要清洁高效真空环境的各类行业和研究领域。
在考虑引入冷冻泵时，其高性能和提供清洁真空环境的能力具有显著优势。
Albuck Cryo 已被广泛应用于电子、光学、太阳能、核聚变、航天开发等领域，积累了的业绩。
日本爱发科/ULVAC低温干式真空泵
特色
轻便、紧凑且大量运输，是标准的低温泵。
适合实验设备和小型生产设备。
支持多重操作（最多3台）。
超高真空（10-8Pa或更小）是可能的。
轻量紧凑：标准机型，出货量大，适配实验与小型生产设备
超高真空：极限压力可达 10⁻⁷ Pa（10⁻⁹ Torr），可实现 10⁻⁸ Pa 以下超高真空
大抽速：对水蒸气抽速（4000 L/s），适合高水汽环境
多机并联：最多支持 3 台同步运行，提升抽气能力
长寿命：维护周期约 16,000 小时，运行稳定。
日本爱发科/ULVAC低温干式真空泵CRYO-U4H
工作原理
一级制冷（80K）：冷却屏蔽筒与挡板，减少室温辐射热。
二级制冷（10–12K）：冷却 15K 冷凝板与吸附板，气体在表面冷凝 / 吸附，实现抽气。
外部尺寸（单位：毫米）
日本爱发科/ULVAC低温干式真空泵CRYO-U4H
规格
| 排气速度（20°C） | 氮 | L/s | 450 |
| 氢 | 500 | ||
| 氩气 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 到达压力 | 10-7 | ||
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s | 1.3×103 |
| 排气容量 | 氩气 | Pa·L | 1.0×107 |
| 氢 | 1.5×105 | ||
| 下降冷却时间 | 最小（50/60Hz） | 45/50 | |
| 质量 | 公斤 | 14.5 | |
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