日本EBARA/荏原功耗高速低功耗干式真空泵体积小巧、节能，且一台设备可覆盖多种工艺
该干式真空泵适用于中等工艺，配备Ebara独特的节能技术，采用优化自动化工厂制造的模块设计，实现进一步的小型化和节能。
凭借广泛的温度控制能力，它扩展了适用的工艺。同一模型可以涵盖多个过程;因此，备用机器库存可以优化，维护和培训可以减少，流程未来也能灵活扩展。此外，通过对每个工艺进行温控，工艺电阻也得以提升

Name: 高速低功耗干式真空泵EST200WN
Brand: EBARA/荏原
Price: 99999 CNY
Availability: InStock

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EBARA在高速干式真空泵方面的优势

Ebara干式真空泵以节能和小巧著称，广泛应用于多个领域。独特优化的转子设计提升了压缩效率，实现了低功耗。由于其紧凑轻便的设计，能够在有限空间内安装，且易于搬运。我们已在*出货超过20万台*，活跃于多个领域，主要集中在半导体行业，对性能和可靠性的要求非常严格。

此外，我们在*拥有50多个维修点，提供可靠的*支持。您可以选择我们丰富产品线中最合适的车型，从行业最高标准的紧凑轻量车型，到氢气排气车型，以及兼容产生反应性副产品的高负载兼容车型。

该干式真空泵适用于中等工艺，配备Ebara独特的节能技术，采用优化自动化工厂制造的模块设计，实现进一步的小型化和节能。
凭借广泛的温度控制能力，它扩展了适用的工艺。同一模型可以涵盖多个过程;因此，备用机器库存可以优化，维护和培训可以减少，流程未来也能灵活扩展。此外，通过对每个工艺进行温控，工艺电阻也得以提升，并通过延长零件更换周期来降低TCoO。
适用的应用包括各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延等。

适用于处理反应副产物并在大容量腔体中快速泵送的干式真空泵

EST系列采用螺旋式转子，并配备高温操作功能，以在高温下维持泵内气体。产生反应副产物的应用，如CVD。该型号标配耐腐蚀材料，实现高速排气和大抽油量，并通过减少停机时间提升工艺效率。

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