产品分类·product

我们相信合格的产品是信誉的保证！

ULVAC爱发科

液氮发生器小型真空沉积装置电源真空阀控制器泄漏检测器气体监测仪真空计油扩散真空泵斯帕特昂泵排气单元机械助力泵油转真空泵涡轮分子泵干式真空泵

查看全部产品 >>

相关文章·articles

助力客户实现更高价值的合作伙伴！

产品中心/ products

您的位置：首页 - 产品中心 - ULVAC爱发科 - 干式真空泵 - ESA15-D高速低功耗干式真空泵

高速低功耗干式真空泵

日本EBARA/荏原功耗高速低功耗干式真空泵体积小巧、节能，且一台设备可覆盖多种工艺
干式真空泵是一种不使用油或液体密封的非接触式真空泵。它们实现了干净的真空，没有水和油的回流或扩散。此外，无需定期维护，如加水或更换水或机油，操作非常简单。它是
半导体制造工艺和FPD/LED/太阳能电池制造过程中的泵，这些工艺强调清洁性。

产品型号：ESA15-D
厂商性质：经销商
更新时间：2026-06-15
访问量：146

联系电话：0592-6689389

EBARA在高速干式真空泵方面的优势

节能且紧凑的设计。令人安心的*支持和丰富的产品线

Ebara干式真空泵以节能和小巧著称，广泛应用于多个领域。独特优化的转子设计提升了压缩效率，实现了低功耗。由于其紧凑轻便的设计，能够在有限空间内安装，且易于搬运。我们已在*出货超过20万台*，活跃于多个领域，主要集中在半导体行业，对性能和可靠性的要求非常严格。

此外，我们在*拥有50多个维修点，提供可靠的*支持。您可以选择我们丰富产品线中最合适的车型，从行业最高标准的紧凑轻量车型，到氢气排气车型，以及兼容产生反应性副产品的高负载兼容车型。

特色与优势

该干式真空泵适用于中等工艺，配备Ebara独特的节能技术，采用优化自动化工厂制造的模块设计，实现进一步的小型化和节能。
凭借广泛的温度控制能力，它扩展了适用的工艺。同一模型可以涵盖多个过程;因此，备用机器库存可以优化，维护和培训可以减少，流程未来也能灵活扩展。此外，通过对每个工艺进行温控，工艺电阻也得以提升，并通过延长零件更换周期来降低TCoO。
适用的应用包括各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延等。

日本EBARA/荏高速低功耗干式真空泵

ESA系列

干式真空泵适用于输送轻质气体如氢气。非常适合大容量腔体中快速泵送的需求。

用于大容量真空腔体中的快速泵送
有机溶剂应用的可选排气配置
氢气及其他轻型汽油泵送
耐腐蚀材料选项
无油
可获得CE认证/半级S2/NRTL认证

特色与优势

ESA模型产品线包括泵送速度在1,400至10,000升/分钟之间的型号，适合轻质气体如氢气的泵送;以及排气速度从20,000到80,000升/分钟的型号，适合在大容量腔室内快速泵送。轻气体应用型号的泵送速度为10,000升/分钟及以下，体积小且耐腐蚀性更佳，非常适合大容量轻气体泵送应用，如MO-CVD。较大型号实现安静、低振动运行，并可选配有机溶剂应用的排气配置。它们非常适合液晶飞溅设备、真空干燥工艺和大型负载锁应用。

类型

单位

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W（-D）

ESA70WN（-D）

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

ESA200W

ESA300W

ESA500W

冷却水

流量

L/min

3.5~8

7~16

3.5~8

6~9

温度

°C

最多30人

电源

额定电压：50/60 Hz

单相200-240伏
三相 200-240伏

允许的电压波动

±10%

功率容量

kVA

6.4

12.8

10.3

12.6

23.7

41.3

抽水速度

L/min

1,400（50Hz）
1,700（60Hz）

2500（50Hz）
3000（60Hz）

5,000（50Hz）
6,000（60Hz）

7,000（50Hz）
8,400（60Hz）

8,400（50Hz/60Hz）

10,000（50Hz/60Hz）

20,000（50Hz/60Hz）

28,000（50Hz）
30,000（60Hz）

47,000（50Hz）
50,000（60Hz）

压力

400（50Hz）
270（60Hz）

5.3（50Hz）
4.0（60Hz）

0.27（50Hz）
0.13（60Hz）

0.4（50Hz）
0.27（60Hz）

0.13

0.27

0.13

0.27

0.53

1.0

连接

入海口

NW40

NW50

ISO80

NW50

NW80

ISO100

ISO160

出口

NW40

NW50

极限压力下的近似功率

千瓦

2.9（50Hz）
3.2（60Hz）

2.6（50Hz）
2.9（60Hz）

5.2（50Hz）
5.8（60Hz）

3.6（50Hz）4.0
（60Hz）

4.2

4.9

3.2（50Hz）
3.4（60Hz）

6.6（50Hz）
7.3（60Hz）

5.1（50Hz）
6.7（60Hz）

流量

Pa•m3/s

14~17 （4.6）

17~20 （3.8）

34~40

24~27 （4.7）

54~57

54~45

17~20 （3.8）

7.5~10.5

8.5~11

电源相位/电压/频率。

200V型号

三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz

400V型号

三相/380-400伏/50赫兹
三相/380-440伏/60赫兹

三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz

三相/380-400伏/50赫兹
三相/380-440伏/60赫兹

460V型号

三相/440伏/50赫兹
三相/440-480伏/60赫兹

三相/380-400伏/50赫兹
三相/380-440伏/60赫兹

重量

240

480

380

400

410

700

750

在线咨询

上一篇：EST200WN高速低功耗干式真空泵
下一篇：ESA70W（-D）高速低功耗干式真空泵

返回列表

EBARA在高速干式真空泵方面的优势

节能且紧凑的设计。令人安心的*支持和丰富的产品线

特色与优势

日本EBARA/荏高速低功耗干式真空泵

日本EBARA/荏高速低功耗干式真空泵

ESA系列

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：