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超高真空涡轮分子泵

日本EBARA/荏原超高真空涡轮分子泵体积小巧、节能,且一台设备可覆盖多种工艺
干式真空泵是一种不使用油或液体密封的非接触式真空泵。它们实现了干净的真空,没有水和油的回流或扩散。此外,无需定期维护,如加水或更换水或机油,操作非常简单。它是
半导体制造工艺和FPD/LED/太阳能电池制造过程中的泵,这些工艺强调清洁性。

  • 产品型号:EMT397M
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-15
  • 访  问  量:118
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产品详情

EBARA在干式真空泵方面的优势

无油、干净的真空

可以从大气压到高真空无需定期维护,如加水或更换机油

节能且紧凑的设计。令人安心的*支持和丰富的产品阵容

Ebara干式真空泵以节能和小巧著称,广泛应用于多个领域。独特优化的旋翼设计提高了压缩效率,实现了低功耗。由于其紧凑轻便的设计,能够安装在有限的空间内,且易于搬迁。我们已向*出货超过20万台*,活跃于多个领域,主要集中在半导体行业,对性能和可靠性的要求非常严格。

日本荏原超高真空涡轮分子泵

日本荏原超高真空涡轮分子泵

EMT系列/EBT系列

特色与优势

适用于从340到4,200升/分钟的广泛排气速度范围。提供集成控制器类型和风冷/水冷类型。

  • 超高真空涡轮分子泵



宫崎科技(厦门)有限公司已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EVE岩崎、EBARA荏原、ANALYZER第一热研、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIVA光屋、SERIC索莱克、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器,ATAGO爱拓,SONIC索尼克、SIGMA西格玛,SUGIYAMA杉山电机,HAYASHI林时计、ORIHARA折原,OHKURA大仓,ULVAC爱发科,TORAY东丽、YUASA尤安萨、EVELA东京理化,SANKO三高、NEWKON新光,HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKK小野、NFK南国工业株式会社、MATSUO松尾、NIKKATO日陶、HEIDON新东科学、OTSUKA大塚电子、ITOH伊藤、WATSON沃森、RIYYO理阳、ESSGES宜格斯、PFERD马圈、TEMTOP乐控、TOPCON拓普康、TOKI东机产业


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