可以从大气压到高真空无需定期维护，如加水或更换机油

节能且紧凑的设计。令人安心的*支持和丰富的产品阵容

Ebara干式真空泵以节能和小巧著称，广泛应用于多个领域。独特优化的旋翼设计提高了压缩效率，实现了低功耗。由于其紧凑轻便的设计，能够安装在有限的空间内，且易于搬迁。我们已向*出货超过20万台*，活跃于多个领域，主要集中在半导体行业，对性能和可靠性的要求非常严格。

干式真空泵是一种不使用油或液体密封的非接触式真空泵。它们实现了干净的真空，没有水和油的回流或扩散。此外，无需定期维护，如加水或更换水或机油，操作非常简单。它是半导体制造工艺和FPD/LED/太阳能电池制造过程中的泵，这些工艺强调清洁性。近年来，它们的应用范围扩大，因为它能够轻松、干净地从质谱仪和电子显微镜等分析仪中提取气体。此外，由于清洁的真空和便捷的维护，它们也被应用于真空干燥工艺和薄膜沉积工艺等多种领域。

日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵干式废气减排系统

FDS系列

干式排气排放系统，高效且安全地处理PFC气体，无需水洗

• 式排气减排系统

• 低功耗

• 高效排除PFC气体

• 氟串气的凝固

• 不需要用水刷

• 无需燃料

特色与优势

• FDS模型是一种干式废气减排系统，能够高效且安全地处理PFC气体，无需水洗。能够高效处理至少99.9%的PFC气体，并且氟系列气体分解后能干固，因此不会产生废水，也无需处理有毒废水。双缸型在最大气体进气速率250升/分钟（250升/分钟双缸型）下，PFC去除效率可达99%或更高，且由于反应器容器串流设计，系统运行时间大幅提升;单缸型则便于更换现有干式废气减排系统。非常适合没有污水处理设备或燃料管线的研究实验室。

• 规格