日本ULVAC/日本爱发科高精度气体监测仪型号：Qulee CGM2-051 / 052 这是ULVAC的新型残余气体分析仪/过程气体监测器（RGA），在高压（低于1Pa）下实现高精度和高分辨率，具有革命性的简便性和易用性。
一个体现各生产线技术专家声音的新工艺监控标准已经到来。它非常适合溅射设备的工艺管理（提升质量和良率）。

                                    日本ULVAC/日本爱发科高精度气体监测仪，型号：CGM2-051

                                                     日本ULVAC/日本爱发科高精度气体监测仪，型号：CGM2-051

                                           气体监测仪是一种用于管理工艺气体并实时高精度测量和监测其浓度的设备，适用于各种制造工艺。 利用四极杆原理，它检测气体成分并提供准                                               确的气体成分数据。 这有助于在需要严格气体管理的领域（如电子器件和半导体）中提高质量和生产效率。
                                          气体分析仪（工艺气体监测仪）主要用于半导体制造和电子器件制造工艺，采用气体成分和浓度的实时监测。 主要特点如下。 *高精度测量特定气                                             体成分以帮助控制过程。 *实时监控工艺气体状态，实现异常早期检测和工艺优化。 *单次测量可以同时测量多个气体组分。 Albac 的气体分析仪                                           （工艺气体监测仪）近年来不仅支持上述工艺的高效高精度气体分析，也应用于各种工业流程和研发。