日本ULVAC/日本爱发科高精度气体监测仪型号：Qulee CGM2-051 / 052 这是ULVAC的新型残余气体分析仪/过程气体监测器（RGA），在高压（低于1Pa）下实现高精度和高分辨率，具有革命性的简便性和易用性。
一个体现各生产线技术专家声音的新工艺监控标准已经到来。它非常适合溅射设备的工艺管理（提升质量和良率）。

产品型号：CGM2-101
厂商性质：经销商
更新时间：2026-06-18
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联系电话：0592-6689389

日本ULVAC/日本爱发科高精度气体监测仪，型号：CGM2-101

日本ULVAC/日本爱发科高精度气体监测仪，型号：CGM2-101

气体监测仪是一种用于管理工艺气体并实时高精度测量和监测其浓度的设备，适用于各种制造工艺。利用四极杆原理，它检测气体成分并提供准确的气体成分数据。这有助于在需要严格气体管理的领域（如电子器件和半导体）中提高质量和生产效率。
气体分析仪（工艺气体监测仪）主要用于半导体制造和电子器件制造工艺，采用气体成分和浓度的实时监测。主要特点如下。 *高精度测量特定气体成分以帮助控制过程。 *实时监控工艺气体状态，实现异常早期检测和工艺优化。 *单次测量可以同时测量多个气体组分。 Albac 的气体分析仪工艺气体监测仪）近年来不仅支持上述工艺的高效高精度气体分析，也应用于各种工业流程和研发。

非常适合溅射工艺
空气泄漏监测
残留水分管理
过程监控无需差动排气系统......测量值低于1Pa，节省空间
高灵敏度泄漏测试（CGM2-052）成为可能，并具备增强的泄漏测试功能。
总压力测量是可能的。
集成显示设计......无需电脑即可测量
操作简单——一键功能......任何人都方便，无需复杂操作
Qulee QCS 软件标配
CE标准合规

目的

溅射设备中的残余气体分析、工艺监测及杂质（_H2O）管理
用于溅射装置的泄漏测试

规格

解决

M/△M=1M（10% P.H.）

类型	CGM2-051	CGM2-101	CGM2-052	CGM2-102
质量分离方法	四极杆质谱仪
质量数范围	1~50 amu	1~100 amu	1~50 amu	1~100 amu
探测器	法拉第杯		次级电子倍增管 / 法拉第杯
灵敏度	0.1uA/Pa		0.1mA/Pa
最小检测分压	1x10^-7爸		1x10^-10爸
最大操作压力	2PA		2Pa（FC）1x10^-2Pa（SEM）
线性	1Pa
总压力测量函数	可得
DEGAS特色	内置 / 电子减震系统，300V / 5mA
一键泄漏检查功能	可用 / 氦 / 氢₂O / 氮₂/ 氧₂/ 任何气体
电源电压	DC24V±10% 50W
最大烘焙温度（传感器连接时）	120°C
最大烘焙温度（传感器单元连接时）	250°C
工作温度范围	10~40°C
界面	以太网
软件	兼容Qulee QCS Ver.4.2及更高版本（Windows 8/10/11）
兼容规范	CE

选项

分析管	CGM-AN51	CGM（2）-051/101 共享
分析管	CGM-AN52	CGM（2）-052/102 共享
离子源	CGM-IS01	CGM（2）兼容所有型号
次级电子倍增管	CGM-EM01	CGM（2）-052/102 共享

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