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ULVAC爱发科便携式高速光谱测距仪

ULVAC爱发科便携式高速光谱测距仪型号：Albac 的高速光谱椭圆仪“UNECS 系列"采用了一种独特的测量方法，无需机械或电气控制机制，实现了最高可达 20 毫秒的高速测量，且设计紧凑。我们提供手动、自动和内置多种类型。

产品型号：UNECS-3000A
厂商性质：经销商
更新时间：2026-09-15
访问量：164

联系电话：0592-6689389

ULVAC爱发科便携式高速光谱测距仪，型号：UNECS-3000A

ULVAC爱发科便携式高速光谱测距仪，型号：UNECS-3000A

光谱椭圆计能够非接触且高精度地测量透明和半透明薄膜（如氧化物和氮化物薄膜）的厚度和光学常数（折射率和衰变系数）。

UNECS系列是一种光谱曲线计，能够高速且高精度地测量薄膜厚度和折射率。
通过采用独特的测量方法，实现了高速测量和紧凑设计。
UNECS-1500A利用150mm自动R-θ级和自动对焦功能快速自动测量基底内胶片厚度分布，结果显示为色彩图

特色

高速测量：
采用独特的快照方法，我们实现了高达20毫秒的快速测量。
可见光光谱支持：
波长范围可选择标准型（530nm~750nm）和可见光型（380nm~760nm）。
紧凑型传感器单元：
透射式光传感器仅由光学元件组成，无旋转机构，极为轻便紧凑，无需定期维护。
150mm自动级：
配备兼容Φ150mm的自动R-θ级和自动对焦功能，支持基底表面的自动测绘测量。

目的

测量透明或半透明薄膜（氧化物、氮化层、抗蚀剂、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰变系数。

规格

模型	1500A	2000A	3000A
波长范围	530~750海米，380~760海米（选一个）
点状路径	Φ1mm，Φ0.3mm（选择一个）
入射角	70°固定
薄膜厚度的可重复性	1σ = 0.1nm
胶片厚度范围	1nm~2μm
测量时间	接收光线：20毫秒 ~ 3000毫秒;计算：300毫秒
舞台	Φ150毫米自动	Φ200mm 自动	Φ300毫米自动
自动测量	200分	200分	2000分
控制电脑	笔记本类型（含操作和分析软件）
设备配置	测量单元、控制器、操作电脑（笔记本类型）、说明书（CD）

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