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晶体薄膜沉积控制器

日本ULVAC/日本爱发科晶体薄膜沉积控制器型号：CRTM-6000G是一款晶体振荡薄膜形成控制器，具有优异的分辨率，能够监测和控制沉积薄膜的厚度和速率。
尽管其半机架机身紧凑，但它支持低速率控制和连续沉积控制，多达99层多层薄膜。

  • 产品型号：CRTM-6000G
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2026-06-18
  • 访  问  量：195
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产品详情

日本ULVAC/日本爱发科晶体薄膜沉积控制器，型号：CRTM-6000G

日本ULVAC/日本爱发科晶体薄膜沉积控制器，型号： CRTM-6000G

特色

  • 出色的胶片厚度和胶片成型速度分辨率，即使在薄膜成形速度较低时也能进行控制。

  • 采样率高达125毫秒，实现高度响应的控制。

  • 支持多层胶片控制，最高可达99层。

  • 标准RS232C

  • 最多可连接两个单一传感器（可切换）

  • 配备可编程数字输入/输出（每个12通道）和模拟输出（3通道）

目的

  • 薄膜厚度和沉积速度的控制

规格

胶片厚度与测量分辨率0.041 A（5 MHz）
0.029 A（6 MHz）
胶片厚度显示范围 / 显示分辨率0.000~99.99 μm（0.000~999.9 kÅ）
沉积速度 显示范围 / 显示分辨率0.01~99.99 nm/s（0.1~999.9 Å/s）
支持的传感器频率5MHz，6MHz
安装的传感器数量

单传感器：2个（无法同时测量，可切换）多
传感器：1个

采样率125毫秒
多层膜的数量99层
证词项目数量99
数字输入/输出输入：12路可
编程输出：12路可编程
模拟输出3ch 可编程
外部尺寸：×D×H240毫米 x 350毫米 x 99毫米


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