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2026-06-13 2026-10-14 2026-04-22 2026-09-08 2026-02-07 
产品型号：CRTM-R1-EL厂商性质：经销商更新时间：2026-06-18访 问 量：222
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日本ULVAC/日本爱发科晶体薄膜沉积控制器，型号：CRTM-R1-EL
日本ULVAC/日本爱发科晶体薄膜沉积控制器，型号： CRTM-R1-EL
采用新的测量方法大大提升了速率稳定性。
能力（CI值）测量提升了晶体板的异常检测能力。
最多可同时控制8个沉积。 （添加选项时）
通信方式支持以太网和RS-232C。
主机上存储的各种日志数据可以以CSV格式传输到USB。
通过使用Calc-Z函数，即使是Z比未知的材料，也能自动计算和成型薄膜。
OLED气相沉积和钙钛矿太阳能电池沉积工艺中的薄膜厚度、速率管理与控制
| 频率 | 测量范围 | 4.00~3.00MHz@4MHz 5.00~3.50MHz@5MHz 6.00~4.50MHz@6MHz |
| 测量分辨率 | 1 MHz | |
| 表示分辨率 | 1 MHz | |
| 沉积率（速率） | 测量范围*1 | 0.000~999.9Å/s （0~99.99nm/s） |
| 测量分辨率*2 | 0.0028Å/s @4MHz 0.0018Å/s @5MHz 0.0012Å/s @6MHz | |
| 表示分辨率*1 | 0.001Å/s | |
| 薄膜厚度 | 测量范围*1 | 0.000~9999kÅ （0~999.9μm） |
| 测量分辨率*2 | 0.0028Å @4MHz 0.0018Å @5MHz 0.0012Å @6MHz | |
| 表示分辨率*1 | 0.001kÅ | |
| 支持的传感器频率 | 4MHz、5MHz、6MHz | |
| 可安装传感器数量（单一） | 2（选项包括MAX8，IF卡：每张卡2张×4张卡） | |
| 可安装传感器数量（多枚） | 2（选项包括MAX8，IF卡：每张卡2张×4张卡） | |
| 采样率 | 100毫秒 | |
| 车库项目数量 | 999 | |
| 流程项目数量 | 99 | |
| 数字输入分数 | 14张（可选最多56张，DIO卡：每张14分×4张卡牌） | |
| 数字输出评分 | 8（MAX32、DIO卡选项：每张卡8件物品×4张卡牌） | |
| 模拟输出点 | 2张（MAX16选项，IF卡：每张2分×4张卡+AO卡：每张8分×1张卡） | |
| 模拟输出范围 | -10~+10V | |
| 沟通方法 | 局域网（以太网）（1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T） RS-232C USB2.0 Type-B | |
| 外部尺寸（宽度×深度×高度） | CRTM-R1-EL：约480×约320×约130毫米 CTM-EL（-D） 选项：约80×约152×约53毫米 | |
| 重量 kg | CRTM-R1-EL：5.3公斤（最高配装：5.8公斤） CTM-EL（-D） 选装：0.6公斤 | |
| 实用性 | 交流 100~240V±10%，50/60Hz | |
| 最大功耗 | 150W | |
| 兼容保险丝 | 250V2.5A（2个5×20毫米） | |
| 知识产权保护等级 | IP20 | |
| 过电压类别 | 第二类。 | |
| 高海拔条件 | 海拔2000米以下 | |
| 污染水平 | 2 | |
| 使用环境 | 温度：5~40°C，湿度 ：相对湿度20~85%（无冷凝水） 仅限室内 | |
| 存储环境 | 温度：-10~60°C（无电，无冷凝） 湿度 ：相对湿度20~85%（无冷凝） | |
| 热身时间 | 大约30分钟 | |
| 兼容规范 | CE | |
*1：当工具=100和密度=1时的数值被设置。
*2：频率分辨率通过工具=100和密度=1转换。
使用CRTM-R1-EL时，你需要可选的CTM-EL（-D）+电缆组、传感器和引入法兰。
CRTM-R1-EL也安静稳定。
[ 新CRTM-R1-EL ]
[ 传统CRTM ]
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