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ULVAC/日本爱发科多传感器

ULVAC/日本爱发科多传感器，型号：CRTS系列的多传感器可配备多块晶体板，显著缩短维护时间。晶体板切换采用高度可靠的真空步进电机，实现高精度切换。有机和光学沉积采用多传感器，实现连续膜沉积时自动切换。这提高了薄膜形成过程的效率和精度，支持稳定生产。

  • 产品型号：CRTS-M6
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2026-06-18
  • 访  问  量：160
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产品详情

ULVAC/日本爱发科多传感器，型号：CRTS-M6

ULVAC/日本爱发科多传感器，型号：CRTS-M6

晶体薄膜沉积控制器传感器CRTS系列的多传感器可配备多块晶体板，显著缩短维护时间。晶体板切换采用高度可靠的真空步进电机，实现高精度切换。有机和光学沉积采用多传感器，实现连续膜沉积时自动切换。这提高了薄膜形成过程的效率和精度，支持稳定生产。

CRTS-M6 是一款为晶体振荡薄膜沉积控制器“型号：CRTM"开发的旋转多传感器。
它可以配备六个5MHz或6MHz晶体，使其在连续沉积及类似应用中非常可靠。

  • 特色

    • 可配备六个5MHz或6MHz晶体

    • 采用真空电机驱动的独特驱动系统，实现高度可靠性。

    • 更换水晶很简单，可以拆下整个支架

    • 检测异常晶体振荡（寿命），并在使用控制器上的“模型：CRTM"时自动切换晶体。

    • 由于传感器头体积紧凑（直径50毫米），可以灵活地连接到气相沉积设备。

  • 目的

    • 光学及光学通信元件的气相沉积

    • 有机物沉积

    • 电子元件及其他气相沉积

  • 规格

    传感器头部
    安装晶体数量6张纸
    兼容晶体4MHz、5MHz 或 6MHz（可选）AT 切割晶体
    耐热温度350摄氏度
    冷却水体积1升/分钟
    重量1公斤
    尺寸Φ50mm x H，约89mm


    控制部门
    数字输入INIT，CNT，停止
    数字输出传感器编号，忙碌，错误，重试，结束
    实用性DC24V，3.0A
    尺寸：×D×H100毫米 x 252毫米 x 99毫米


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