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2026-06-13
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2026-02-07

产品型号:CRTS-12NS
厂商性质:经销商
更新时间:2026-06-18
访 问 量:143
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ULVAC/日本爱发科多传感器,型号:CRTS-12NS
ULVAC/日本爱发科多传感器,型号:CRTS-12NS
晶体薄膜沉积控制器传感器CRTS系列的多传感器可配备多块晶体板,显著缩短维护时间。晶体板切换采用高度可靠的真空步进电机,实现高精度切换。有机和光学沉积采用多传感器,实现连续膜沉积时自动切换。这提高了薄膜形成过程的效率和精度,支持稳定生产。
CRTS-12NS 是一款为晶体振荡薄膜沉积控制器“Model:CRTM"开发的旋转多传感器。
它可以配备12个5MHz晶体,因此即使在长时间连续沉积期内也能放心使用。
可配备12个5MHz、AT切割晶体
采用真空电机驱动的独特驱动系统,实现高度可靠性。
更换水晶很简单,可以拆下整个支架
检测晶体异常振荡(寿命),并在使用CRTM系列控制器时自动切换晶体。
光学与光通信组件
有机EL
电子元件,其他
| 传感器头部 | |
| 安装晶体数量 | 12张 |
| 兼容晶体 | 4MHz,5MHz AT切割晶体 |
| 耐热温度 | 350摄氏度 |
| 冷却水体积 | 1升/分钟 |
| 重量 | 2公斤 |
| 尺寸 | Φ104mm x H,约61mm |
| 控制部门 | |
| 数字输入 | INIT,CNT,停止 |
| 数字输出 | 传感器编号,忙碌,错误,重试,结束 |
| 实用性 | DC24V,3.0A |
| 尺寸:×D×H | 100毫米 x 250毫米 x 99毫米 |

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