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2026-06-05 2026-10-08 2026-09-11 2026-10-13 2026-09-08 
产品型号：DCS0052B厂商性质：经销商更新时间：2026-06-22访 问 量：161
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ULVAC/日本爱发科脉冲与直流电源系统，型号： DCS0052B
ULVAC/日本爱发科脉冲与直流电源系统，型号： DCS0052B
等离子体发电电源或薄膜形成电源是一种通过在电极之间施加电压来产生等离子体的装置。 利用该技术，实现了PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化等真空工艺。 通过这些工艺，薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上，以创造新的附加价值。 这项技术被广泛应用于我们日常使用的产品中。
轻量化且节省空间的设计
输出电压范围为800V和1000V（仅适用于10/20kW产品）
具有深度等离子体专业知识的输出控制
由于强制空气冷却，无需冷却水
配备出色的ARC功能和高速ARC处理电路
最多可并联运行12台（240千瓦）机组（仅限10/20千瓦型号）。
符合CE、SEMI F47和RoHS（不含DCS和400V规范）
| 模型 | DCS0052B | DC-2 | DC-4 | |
| 输入规范 | 输入电压 | 单相交流100V/200V | 三相交流电200V/220V | |
| 输入容量 | 低于1kVA | 低于3.5kVA | 低于6.2kVA | |
| 输出规范 | 额定功率 | 500W | 2千瓦 | 4千瓦 |
| 额定电流 | 1.25A | 5A | 10A | |
| 额定电压 | 800伏 | |||
| 点火电压 | 大约1100伏 | 1200V | ||
| 控制 | 控制精度 | 额定功率的±%或更低 | ±设定值的1%或更少 | |
| 控制保证范围 | 额定功率的10%到100% | 额定功率的1-100% | ||
| 外部控制 | 模拟/数字 | 模拟/数字，串口控制（RS232C 或 RS485） | ||
| 并联操作 | 没有 | |||
| 冷却方法 | 强制风冷 | |||
| 外部尺寸（W×D×H）不包括突出物 | 240×450×99毫米 | 241×610×133（毫米） | ||
| 质量 | 大约9公斤 | 15公斤 | ||
| 兼容规范 | 没有 | CE，KC，SEMI F47，RoHS（欧洲） | ||
| 模型 | DC-10-AM | DC-10-H-AM | DC-10-4-AM | DC-20-AM | DC-20-H-AM | DC-20-4-AM | DC-30-44H | |
| 输入规范 | 输入电压 | 三相交流电208V | 三相交流380V-400V | 三相交流电208V | 三相交流380V-400V | 三相交流440V | ||
| 输入容量 | 低于13.5kVA | 低于25kVA | 低于41.5kVA | |||||
| 输出规范 | 额定功率 | 10千瓦 | 20千瓦 | 30千瓦 | ||||
| 额定电流 | 25A | 18A | 25A | 50A | 40A | 50A | 55A | |
| 额定电压 | 800伏 | 1000伏 | 800伏 | 800伏 | 1000伏 | 800伏 | 1200V | |
| 点火电压 | 1500伏 | |||||||
| 控制 | 控制精度 | 额定输出的±为0.5%或更低，或设定值的±1%或更低，以较大者为准 | ||||||
| 控制保证范围 | 额定功率的10%到100% | |||||||
| 外部控制 | 模拟/数字，串口控制（RS232C 或 RS485） | 串行控制（RS232C 或 RS485）/EtherCAT | ||||||
| 并联操作 | 是的 | |||||||
| 冷却方法 | 强制风冷 | |||||||
| 外部尺寸（W×D×H）不包括突出物 | 483×630×133（毫米） | 483×650×177（毫米） | ||||||
| 质量 | 29公斤 | 36公斤 | 45公斤 | |||||
| 兼容规范 | CE，KC，SEMI F47，RoHS（欧洲） | RoHS（欧洲） | CE，KC，SEMI F47，RoHS（欧洲） | RoHS（欧洲） | CE，SEMI F47，RoHS（欧洲） | |||
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