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脉冲与直流电源系统

ULVAC/日本爱发科脉冲与直流电源系统型号:DC"是一种用于溅射的直流电源。 由可靠的元件和电路组成。
这种高可靠性的电源非常适合等离子体负载,设计中融合了多年包括电源应用在内的专业知识。

  • 产品型号:DC-2-D
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-22
  • 访  问  量:171
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产品详情

ULVAC/日本爱发科脉冲与直流电源系统,型号: DC-2-D

ULVAC/日本爱发科脉冲与直流电源系统,型号: DC-2-D

等离子体发电电源或薄膜形成电源是一种通过在电极之间施加电压来产生等离子体的装置。 利用该技术,实现了PVD(如溅射)、CVD、蚀刻和灰化等真空工艺。 通过这些工艺,薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上,以创造新的附加价值。 这项技术被广泛应用于我们日常使用的产品中。

各种膜的形成创造了附加价值,改变了它们的形状,现在也被用作我们日常生活中熟悉的产品。 相关行业极为广泛,涵盖半导体和电子设备、显示器、可再生能源、储能、汽车等。 胶片材料的选择和所用工艺对胶片形成至关重要,在考虑生产效率和质量时,动力源的选择也是一个关键因素。

薄膜形成工艺包括PVD(如溅射)、CVD、蚀刻和灰化,每种工艺都需要合适的电源。

特色

  • 多种高性能选项

  • 轻量化且节省空间的设计

  • 输出电压范围包括800V和高压规格(10/20kW:1000V / 2/4kW:900V)

  • 具有深度等离子体专业知识的输出控制

  • 由于强制空气冷却,无需冷却水

  • 配备出色的ARC功能和高速ARC处理电路

  • 最多可并联运行12台(240千瓦)机组(仅限10/20千瓦型号)。

  • 符合CE、KC、半F47和RoHS标准

规格

模型DC-2-DDC-4-D
输入规范输入电压三相交流电200V/220V
输入容量低于3.5kVA低于6.2kVA
输出规范额定功率2千瓦4千瓦
额定电流5A10A
额定电压800伏/900伏*
点火电压1200V
控制控制精度设定价值的±1%
控制保证范围额定功率的1-100%
外部控制模拟/数字,串行通信(RS232C 或 RS485),
EtherCAT(可选)
并联操作没有
冷却方法强制风冷
外部尺寸(W×D×H)不包括突出物241×610×133(毫米)
质量15公斤
兼容规范CE,KC,SEMI F47,RoHS(欧洲)

*通常,800V和900V规格为可选。


模型DC-10-DDC-10-DHDC-20-DDC-20-DH
输入规范输入电压三相交流电208V
输入容量低于13.5kVA低于25kVA
输出规范额定功率10千瓦20千瓦
额定电流25A18A50A40A
额定电压800伏1000伏800伏1000伏
点火电压1500伏
控制控制精度以大于额定输出±0.5%或设定值±1%或更小者为准。此外还有
一个独立的高精度选项。
控制保证范围恒定功率控制:额定功率的10%至100%。
可选高精度选装。
外部控制模拟/数字,串行通信(RS232C 或 RS485),EtherCAT(可选)
并联操作是的
冷却方法强制风冷
外部尺寸(W×D×H)不包括突出物483×630×133(毫米)
质量29公斤36公斤
兼容规范CE,KC,SEMI F47,RoHS(欧洲)
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