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2026-06-05 2026-10-08 2026-09-11 2026-10-13 2026-09-08 
产品型号：RFS-1350N厂商性质：经销商更新时间：2026-06-22访 问 量：196
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ULVAC/日本爱发科高频电源系统，型号：RFS-1350N
ULVAC/日本爱发科高频电源系统，型号：RFS-1350N
等离子体发电电源或薄膜形成电源是一种通过在电极之间施加电压来产生等离子体的装置。
利用该技术，实现了PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化等真空工艺。
通过这些工艺，薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上，以创造新的附加价值。 这项技术被广泛应用于我们日常使用的产品中。
各种膜的形成创造了附加价值，改变了它们的形状，现在也被用作我们日常生活中熟悉的产品。
相关行业极为广泛，涵盖半导体和电子设备、显示器、可再生能源、储能、汽车等。 胶片材料的选择和所用工艺对胶片形成至关重要，在考虑生产效率和质量时，动力源的选择也是一个关键因素。
薄膜形成工艺包括PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化，每种工艺都需要合适的电源。
·带内置积分器的高频电源：“
型号：RMG" ·多功能高频电源系统（射频电源系统）：“型号：RF-N"
• 多种高频电源选项：“型号：MEX-N"/" 型号：EXN“ / "型号：PHS-N“ / "型号：EXO“
通过配备高功率转换效率的射频电路，实现了节能效果。
高速自动匹配与高速算法
射频电源内置自动匹配功能
提供外部模拟控制和串行通信控制。
通过基于多年积累的技术设计，我们实现了可靠性。
| 射频电源模型 | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| 输入规范 | 输入电压 | 单相交流 200V - 220V | 三相交流 200V - 220V | ||
| 输入容量 | 1.2 kVA或以下 | 1.8 kVA或以下 | 低于5千伏安 | 低于8千伏安 | |
| 输出规范 | 振荡频率 | 13.56MHz | |||
| 额定功率 | 500W（50Ω负载时） | 1000W（50Ω负载） | 3000W（50Ω负载时） | 5000W（50Ω负载时） | |
| 同轴输出连接器 | N型 | HN型 | DIN 7/16 | ||
| 冷却方法 | 强制风冷 | 强制风冷+水冷 | |||
| 不需要冷却水 | 流量：4升/分钟 | 流量：6升/分钟 | |||
| 外部尺寸（W×D×H）不包括突出物 | 240 x 495 x 150（毫米） | 480 × 500 × 150 （毫米） | |||
| 质量 | 约11公斤 | 大约23公斤 | |||
| 兼容规范 | CE、KC、半F47、半S2、RoHS | ||||
| 匹配盒模型 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 输入功率 | 30~500W | 30~1000W | 30~3000W | 50~5000W |
| 允许输出电流 | 30A | 80A | 120A | |
| 允许输出电压 | 2500Vpp | 5000Vpp | 10000Vpp | |
| 冷却方法 | 强制风冷 | 水冷（2升/分钟） | ||
| 外部尺寸（W×D×H）不包括突出物 | 375 × 250 × 120 （毫米） | 375 × 250 × 170 毫米 | 450 × 500 × 248 （毫米） | |
| 质量 | 大约8公斤 | 大约10公斤 | 约21公斤 | |
| 兼容规范 | CE、KC、半F47、半S2、RoHS | |||
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