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ULVAC/日本爱发科高频电源系统

ULVAC/日本爱发科高频电源系统“MEX-N 这是一种用于匹配等离子体发电电源(如射频溅射、等离子体CVD和刻蚀)盒的开关机。

  • 产品型号:MEX-N
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-22
  • 访  问  量:210
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产品详情

ULVAC/日本爱发科高频电源系统,型号:MEX-N 

ULVAC/日本爱发科高频电源系统,型号:MEX-N 

等离子体发电电源或薄膜形成电源是一种通过在电极之间施加电压来产生等离子体的装置。

利用该技术,实现了PVD(如溅射)、CVD、蚀刻和灰化等真空工艺。

通过这些工艺,薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上,以创造新的附加价值。 这项技术被广泛应用于我们日常使用的产品中。

各种膜的形成创造了附加价值,改变了它们的形状,现在也被用作我们日常生活中熟悉的产品。

相关行业极为广泛,涵盖半导体和电子设备、显示器、可再生能源、储能、汽车等。 胶片材料的选择和所用工艺对胶片形成至关重要,在考虑生产效率和质量时,动力源的选择也是一个关键因素。

薄膜形成工艺包括PVD(如溅射)、CVD、蚀刻和灰化,每种工艺都需要合适的电源。

·带内置积分器的高频电源:“

型号:RMG" ·多功能高频电源系统(射频电源系统):“型号:RF-N"

• 多种高频电源选项:“型号:MEX-N"/" 型号:EXN“ / "型号:PHS-N“ / "型号:EXO“

这是一种用于匹配等离子体发电电源(如射频溅射、等离子体CVD和刻蚀)盒的开关电源。

特色

  • 你可以在多个匹配的盒子之间切换。

  • 当不需要同时放电时,它可以使用,通过减少设备内安装的电源数量,有助于降低成本。

  • 由于每个阴极使用一个匹配盒,可以从不同阻抗的阴极中选择。

规格

容量区间匹配盒式交换机数量
2个单位3个单位4个单位5个单位6个单位7个单位8个机车组
500,1千瓦墨西哥-2N-1k墨西哥-3N-1k墨西哥-4N-1k墨西哥-5N-1k墨西哥-6N-1k墨西哥-7N-1k墨西哥-8N-1k
3千瓦墨西哥-2N-3k墨西哥-3N-3k墨西哥-4N-3k墨西哥-5N-3k墨西哥-6N-3k墨西哥-7N-3k墨西哥-8N-3k
5千瓦墨西哥-2N-5k墨西哥-3N-5k墨西哥-4N-5k----

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